Р 50.2.014-2001 ГСИ. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки

     
     Р 50.2.014-2001

Группа Т84.10

     

РЕКОМЕНДАЦИИ ПО МЕТРОЛОГИИ

     

Государственная система обеспечения единства измерений

     
СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
ПРИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОНТРОЛЕ В ДЕФЕКТОСКОПИИ,
ПОЛИГРАФИИ И ФОТОЛИТОГРАФИИ

     
Методика поверки

ОКС 17.020

         17.240

ОКСТУ 0008

Дата введения 2002-10-01

     

Предисловие

1 РАЗРАБОТАНЫ Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ) Госстандарта России, Техническим комитетом по стандартизации ТК 386 "Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии"

2 ПРИНЯТЫ И ВВЕДЕНЫ В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Госстандарта России от 30 ноября 2001 г. N 508-ст

3 Настоящие рекомендации в части методов оценки погрешностей радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников соответствуют рекомендациям Международной комиссии по освещению (МКО) N 53 "Методы определения характеристик радиометров и фотометров"

4 ВВЕДЕНЫ ВПЕРВЫЕ