Р 50.2.014-2001 ГСИ. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки

     8 Подготовка и проведение поверки

Методика поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников включает подготовку к поверке, внешний осмотр, опробование и определение метрологических характеристик.

8.1 При подготовке к поверке необходимо включить все приборы в соответствии с их инструкциями по эксплуатации.

8.2 При внешнем осмотре должно быть установлено:

- соответствие комплектности радиометров (спектрорадиометров) паспортным данным;

- отсутствие механических повреждений блоков радиометров (спектрорадиометров), сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;

- четкость надписей на панели прибора;

- наличие маркировки (тип и заводской номер прибора);

- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях прибора.

8.3 При опробовании должно быть установлено:

- наличие показаний радиометров (спектрорадиометров) при освещении УФ излучением;

- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы радиометров (спектрорадиометров).

8.4 Определение метрологических характеристик радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников

8.4.1. Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за неидеальной коррекции спектральной чувствительности, проводят при первичной поверке по результатам измерений отклонений реальной относительной спектральной чувствительности поверяемого радиометра (спектрорадиометра) от стандартной (приложение А). ОСЧ поверяемого радиометра УФ излучения сравнивается с известной спектральной чувствительностью эталонного приемника УФ излучения, поверенного в ранге РЭ по ГОСТ 8.552 в диапазоне длин волн от 0,28 до 1,1 мкм. Измерения относительной спектральной чувствительности поверяемого спектрорадиометра УФ излучения проводят с использованием источника УФ излучения - ксеноновой лампы типа ДКсШ-120, поверенного в ранге РЭ СПЭО по ГОСТ 8.195.

8.4.1.1 При измерении относительной спектральной чувствительности радиометров УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн от 0,28 до 0,40 мкм используется излучатель на основе ксеноновой лампы типа ДКсШ-120, монохроматор типа МДР-23 (или аналогичный) со спектральным разрешением не более 2 нм и эталонный приемник УФ излучения - фотодиод типа ФПД-1. Эталонный приемник УФ излучения и поверяемый прибор поочередно устанавливают за выходной щелью монохроматора таким образом, чтобы поток монохроматического излучения не выходил за пределы апертурной диафрагмы. Измерение сигналов эталонного приемника и поверяемого прибора проводят поочередно 5 раз на каждой длине волны с шагом 10 нм. Затем за выходной щелью монохроматора устанавливают светофильтр типа ЖС-16, не прозрачный в диапазоне длин волн от 0,28 до 0,40 мкм, и измеряют показания эталонного приемника и поверяемого прибора , соответствующие рассеянному излучению в монохроматоре. Результат -го измерения ОСЧ поверяемого прибора рассчитывают по известным значениям ОСЧ эталонного приемника и отношению измеренных сигналов по формуле

 .                                            (1)

Для каждой длины волны определяют среднеарифметическое значение ОСЧ . Оценку относительного среднеквадратического отклонения результатов измерений для независимых измерений определяют по формуле

 ,                                                                   (2)

где - число независимых измерений.

Граница относительной неисключенной систематической погрешности результата измерений ОСЧ определяется погрешностью РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552.

Относительное суммарное среднеквадратическое отклонение результатов измерений ОСЧ определяют по формуле

.                                       (3)

Значение относительного суммарного СКО результатов измерений ОСЧ в диапазоне длин волн от 0,28 до 0,40 мкм не должно превышать 5%.

Определение ОСЧ спектрорадиометра УФ излучения технологических источников проводят для оценки погрешности спектральной коррекции, возникающей из-за высокого порога спектральной чувствительности и значительного уровня рассеянного света спектрорадиометра.

При определении ОСЧ спектрорадиометра УФ излучения в основном диапазоне длин волн от 0,315 до 0,400 мкм эталонный источник УФ излучения на основе ксеноновой лампы типа ДКсШ-120, поверенный в ранге РЭ СПЭО по ГОСТ 8.195, устанавливают на расстоянии 0,5 м от спектрорадиометра, так чтобы значения СПЭО составляли (0,61,2)·10 Вт/м. Показания спектрорадиометра измеряют в единицах СПЭО (Вт/м). ОСЧ поверяемого спектрорадиометра определяют по отношению измеренных значений СПЭО к значениям СПЭО эталонного источника излучения. Значения суммарного СКО результатов измерений ОСЧ не должны превышать 5%.