Р 50.2.014-2001 ГСИ. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки

     1 Область применения

Настоящие рекомендации распространяются на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения технологических источников - радиометры (спектрорадиометры) УФ излучения, основанные на использовании фотодиодов, вакуумных фотоэлементов, других фотопреобразователей, область спектральной чувствительности которых ограничена диапазоном длин волн от 0,2 до 1,1 мкм. Технологические УФ излучатели применяются в дефектоскопии, полиграфии, фотолитографии для создания высоких уровней УФ освещенности. Контроль характеристик УФ излучения технологических источников проводится в соответствии с требованиями ГОСТ 28369, ГОСТ 18442 и [1]. Средства измерений характеристик УФ излучения технологических источников обеспечивают измерения энергетической освещенности в диапазоне длин волн УФ-А (0,3150,400 мкм), в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 1,0 Вт/м, верхняя - не менее 1000 Вт/м.

Настоящие рекомендации устанавливают методику поверки радиометров (спектрорадиометров), используемых для измерения характеристик УФ излучения технологических источников.

Межповерочный интервал для средств измерений характеристик ультрафиолетового излучения технологических источников - один год.