Р 50.2.014-2001 ГСИ. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки

Номер пункта настоящих рекомендаций

Средства поверки

8.4.1.1-8.4.1.2

Установка для измерений спектральной чувствительности приемников излучения в диапазоне длин волн от 0,2 до 1,1 мкм в составе рабочего эталона потока излучения и энергетической освещенности (РЭ ПИ и ЭО) по ГОСТ 8.552. Установка включает источники излучения - лампы типов ДКсШ-120, КГМ-12-100 (или аналогичные), монохроматор типа МДР-23 (или аналогичный), светофильтр типа ЖС-16, фотоприемники типов ФПД-1, ФД-288К (или аналогичные). Относительное суммарное среднеквадратическое отклонение (СКО) - не более 2%.

8.4.2-8.4.3

Установка для измерений абсолютной чувствительности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн от 0,315 до 0,400 мкм в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. СКО - не более 1%. Установка включает комплект источников излучения - лампы типов ДРТ-250, ЛУФ-30, ДКсШ-120, ДРУФЗ-125, КГМ-12-100 (или аналогичные), многоканапьный радиометр УФ излучения.

8.4.4

Установка для измерений коэффициента линейности чувствительности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552. Установка включает набор нейтральных ослабителей, источники излучения - лампы типа ДКсШ-120 (или аналогичные). СКО - не более 3%.

8.4.5

Установка для измерений угловой зависимости чувствительности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в составе РЭ ПИ и ЭО по ГОСТ 8.552, включающая гониометр типа ГС-5 (или аналогичный). СКО - не более 3%.