Р 50.2.014-2001 ГСИ. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в дефектоскопии, полиграфии и фотолитографии. Методика поверки
3 Операции поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников
Методика поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в соответствии с ПР 50.2.006 включает операции, указанные в таблице 1.
Таблица 1
| Проведение операции при | ||
Наименование операции | Номер пункта настоящих рекомендаций | первичной поверке | периодической поверке |
1 Подготовка к поверке | 8.1 | + | + |
2 Внешний осмотр | 8.2 | + | + |
3 Опробование | 8.3 | + | + |
4 Определение метрологических характеристик радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников | 8.4 | + | + |
4.1 Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за неидеальной коррекции спектральной чувствительности, по результатам измерений относительной спектральной чувствительности | 8.4.1 | + | + |
4.1.1 Измерение относительной спектральной чувствительности УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн от 0,28 до 0,40 мкм | 8.4.1.1 | + | - |
4.1.2 Измерение относительной спектральной чувствительности радиометра в дополнительном видимом и инфракрасном (ИК) диапазонах длин волн от 0,4 до 1,1 мкм | 8.4.1.2 | + | - |
4.2 Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за неидеальной коррекции спектральной чувствительности в УФ, видимом и ИК диапазонах длин волн от 0,2 до 1,1 мкм с использованием контрольных источников излучения | 8.4.2 | - | + |
4.3 Определение погрешности абсолютной чувствительности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников в диапазоне длин волн УФ-А | 8.4.3 | + | + |
4.4 Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за отклонения коэффициента линейности от единицы; определение границ диапазона измерений энергетической освещенности | 8.4.4 | + | + |
4.5 Определение погрешности радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников, возникающей из-за неидеальной коррекции угловой зависимости чувствительности | 8.4.5 | + | + |
4.6 Обработка результатов измерений радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников | 8.4.6 | + | + |
5 Оформление результатов поверки радиометров (спектрорадиометров) УФ излучения технологических источников | Раздел 9 | + | + |