ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия (с Изменениями N 1, 2)

ГОСТ 19658-81

Группа В51

     

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ В СЛИТКАХ

Технические условия

Monocrystalline silicon in ingots. Specifications

ОКП 17 7213

Дата введения 1983-01-01

ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. РАЗРАБОТАН И ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР

РАЗРАБОТЧИКИ

В.С.Матвеев, канд. техн. наук; А.Г.Галканов; М.Б.Рейфман, канд. хим. наук; Л.И.Власова; Р.И.Генкина; И.П.Кагановский, канд. техн. наук; Л.В.Куликова; Л.В.Лайнер, канд. техн. наук; В.И.Маркова; А.И.Попов; Н.Н.Соловьев, канд. техн. наук; Б.М.Туровский, д-р техн. наук

2. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27.02.81 N 1090

3. ВЗАМЕН ГОСТ 19658-74

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

5. Ограничение срока действия снято Постановлением Госстандарта от 12.05.92 N 480

6. ИЗДАНИЕ с Изменениями N 1, 2, утвержденными в июле 1987 года, мае 1992 года (ИУС 11-87, 8-92)

Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл - диэлектрик - полупроводник.

(Измененная редакция, Изм. N 2).