ГОСТ 26239.1-84
Группа В59
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР
КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ
Метод определения примесей
Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination
ОКСТУ 1709
Срок действия с 01.01.86
до 01.01.91*
_______________________________
* Ограничение срока действия снято
по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета
по стандартизации, метрологии и сертификации
(ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.
РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР
ИСПОЛНИТЕЛИ
Ю.А.Карпов, М.Н.Щулепников, М.К.Винников, Г.Г.Главин, Н.А.Градскова, О.В.Завьялов, Т.И.Зяблова, В.Е.Квин, В.А.Крылов, И.А.Кузовлев, Н.И.Марунина, В.Г.Мискарьянц, В.М.Михайлов, М.Г.Назарова, В.А.Орлова, А.И.Степанов, Н.С.Сысоева, В.И.Фирсов, Г.И.Александрова
ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР
Член Коллегии А.П.Снурников
УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2490
ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие с 01.01.91 постановлением Госстандарта СССР от 26.06.90 N 1847
Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 10, 1990 год
Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей, приведенных в табл.1, в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четыреххлористом кремнии и трихлорсилане.
Таблица 1
Интервалы определяемых значений массовой доли примесей
Определяемая примесь | Дифракционный спектрограф ДФC-8 | Спектрограф средней дисперсии, ИСП-28 |
В полупроводниковом кремнии | ||
Алюминий | От 2·10 | От 2·10 |
Висмут | От 6·10 | От 6·10 |
Железо | От 2·10 | От 2·10 |
Золото | От 2·10 | От 2·10 |
Кадмий | От 6·10 | От 2·10 |
Кальций | От 5·10 | От 5·10 |
Кобальт | От 2·10 | От 6·10 |
Магний | От 5·10 | От 5·10 |
Марганец | От 1·10 | От 1·10 |
Медь | От 1·10 | От 1·10 |
Никель | От 2·10 | От 2·10 |
Олово | От 2·10 | От 2·10 |
Свинец | От 2·10 | От 2·10 |
Серебро | От 2·10 | От 6·10 |
Сурьма | От 2·10 | От 6·10 |
Титан | От 5·10 | От 5·10 |
Хром | От 2·10 | От 2·10 |
Цинк | От 2·10 | От 2·10 |
В двуокиси кремния, кварце | ||
Алюминий | От 5·10 | От 5·10 |
Висмут | От 3·10 | От 3·10 |
Железо | От 1·10 | От 1·10 |
Золото | От 1·10 | От 1·10 |
Кадмий | От 3·10 | От 1·10 |
Кальций | От 3·10 | От 3·10 |
Кобальт | От 1·10 | От 3·10 |
Магний | От 5·10 | От 5·10 |
Марганец | От 5·10 | От 1·10 |
Медь | От 1·10 | От 1·10 |
Никель | От 1·10 | От 1·10 |
Олово | От 1·10 | От 1·10 |
Свинец | От 1·10 | От 1·10 |
Серебро | От 1·10 | От 3·10 |
Сурьма | От 1·10 | От 3·10 |
Титан | От 3·10 | От 3·10 |
Хром | От 1·10 | От 1·10 |
Цинк | От 1·10 | От 1·10 |
В четыреххлористом кремнии, трихлорсилане | ||
Алюминий | От 2·10 | От 2·10 |
Висмут | От 1·10 | От 1·10 |
Железо | От 1·10 | От 1·10 |
Золото | От 4·10 | От 4·10 |
Кадмий | От 1·10 | От 4·10 |
Кальций | От 4·10 | От 4·10 |
Кобальт | От 1·10 | От 1·10 |
Магний | От 2·10 | От 2·10 |
Марганец | От 4·10 | От 4·10 |
Медь | От 4·10 | От 4·10 |
Никель | От 5·10 | От 4·10 |
Свинец | От 5·10 | От 4·10 |
Серебро | От 5·10 | От 1·10 |
Сурьма | От 4·10 | От 1·10 |
Титан | От 2·10 | От 2·10 |
Хром | От 5·10 | От 4·10 |
Цинк | От 4·10 | От 4·10 |
Метод основан на предварительном концентрировании примесей путем удаления основного элемента - кремния в виде тетрафторида при анализе полупроводникового кремния, двуокиси кремния, кварца, и в виде тетрахлорида-тетрафторида при анализе четыреххлористого кремния и трихлорсилана, получении концентрата примесей на графитовом порошке и последующем спектральном анализе концентрата примесей в присутствии хлористого натрия.
(Измененная редакция, Изм. N 1).
1.1. Общие требования к методу анализа - по ГОСТ 26239.0-84.
Спектрограф дифракционный типа ДФС-8 с решеткой 600 штр/мм с двухлинзовой системой освещения (линза F-75 диаметром 25 мм) или спектрограф средней дисперсии типа ИСП-28 с трехлинзовой системой освещения.
Генератор дуговой типа ДГ-2 с дополнительным реостатом, приспособленный для поджига дуги постоянного тока высокочастотным разрядом.
Выпрямитель 250-300 В, 30-50 А.
Микрофотометр типа МФ-2.
Спектропроектор типа СПП-2.
Весы аналитические.
Весы торсионные.
Станок для заточки графитовых электродов.
Электроды графитовые, выточенные из графитовых стержней ОСЧ-7-3 диаметром 6 мм, заточенные на конус с углом при вершине 15° и с площадкой диаметром 1,5 мм на конце, обожженные в дуге постоянного тока при 15 А в течение 15 с.
Электроды графитовые диаметром 6 мм, с каналом глубиной 3 мм и диаметром 4 мм, выточенные из графитовых стержней ОСЧ-7-3, обожженные в дуге постоянного тока при 15 А в течение 15 с.
Очистке обжигом подвергают каждую пару электродов непосредственно перед анализом (электрод, заточенный на конус - катод, электрод с каналом - анод).
Графит порошковый по ГОСТ 23463-79, ОСЧ-8-4.
Лампа инфракрасная типа ИКЗ-500 с регулятором напряжения типа РНО-250-0,5.
Стаканы фторопластовые с завинчивающимися крышками вместимостью 20-25 см и 75-80 см
.