ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия (с Изменениями N 1, 2)

ПРИЛОЖЕНИЕ 3
Обязательное

     
ИЗМЕРЕНИЕ УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ
ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫМ МЕТОДОМ

Методика предназначена для измерения удельного электрического сопротивления на торцевой поверхности монокристаллических слитков кремния от 1·10 до 1·10 Ом·cм.

1. Сущность метода

Метод основан на расчете удельного электрического сопротивления по измерению разности потенциалов в двух точках, расположенных на плоской поверхности слитка, при пропускании через два точечных контакта, расположенных на той же поверхности, электрического тока определенной величины.

2. Аппаратура, средства измерения и материалы

Блок-схема установки для измерения удельного электрического сопротивления приведена на черт.1. Сопротивление изоляции монтажа и всех установочных приспособлений не должно быть ниже требуемого входного сопротивления измерительного устройства.

Блок-схема установки для измерения удельного электрического сопротивления

1 - четырехзондовая измерительная головка; 2 - источник постоянного тока изменяемой полярности;
3 - устройство для измерения напряжения; 4 - слиток

Черт.1

Установка должна быть аттестована по стандартным образцам удельного электрического сопротивления, внесенным в Государственный реестр мер и измерительных приборов, на предельное значение суммарной погрешности не более 5% от измеряемой величины.

2.1. Требования к применяемым средствам измерения

2.1.1. Измерительная четырехзондовая головка типа С2080 с четырьмя линейно расположенными зондами из карбида вольфрама;

межзондовое расстояние =(1,3±0,010) мм,

максимальный линейный размер рабочей площадки зонда - не более 60 мкм.

Сила прижима зонда к слитку - 0,5-2,0 Н.

2.1.2. Источник постоянного тока, обеспечивающий получение токов измеряемой полярности в диапазонах, соответствующих назначению установки.

Допустимые отклонения электрического тока за время измерения - не более 0,5% от его величины.

Погрешность измерения электрического тока - не более 0,5%.

2.1.3. Измерительное устройство, обеспечивающее измерение напряжений в диапазонах, соответствующих назначению установки, при необходимом для правильного измерения входном сопротивлении.

Погрешность измерения не более 1,0%.

Предельные значения рабочих токов и измеряемых напряжений в зависимости от величины удельного электрического сопротивления приведены в таблице.