ГОСТ Р 71649-2024
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
РЕЗИСТЫ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ФОТОШАБЛОНОВ
Общие технические требования
Resists for integrated circuits, semiconductor devices and photomasks. General technical requirements
ОКС 29.100.10
Дата введения 2025-03-01