ГОСТ 32974.4-2023

(ISO 21360-4:2018)

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

Вакуумная технология

СТАНДАРТНЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

Часть 4

Турбомолекулярные вакуумные насосы

Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum pump performance. Part 4. Turbomolecular vacuum pumps

МКС 23.160

Дата введения 2023-12-01

Предисловие

Цели, основные принципы и общие правила проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены ГОСТ 1.0 "Межгосударственная система стандартизации. Основные положения" и ГОСТ 1.2 "Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, обновления и отмены"

Сведения о стандарте

1 ПОДГОТОВЛЕН Акционерным обществом "Вакууммаш" (АО "Вакууммаш") и Федеральным государственным бюджетным учреждением "Российский институт стандартизации" (ФГБУ "Институт стандартизации") на основе официального перевода на русский язык англоязычной версии указанного в пункте 5 стандарта, который выполнен АО "Вакууммаш"

2 ВНЕСЕН Межгосударственным техническим комитетом по стандартизации МТК 249 "Вакуумная техника"

3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол от 28 июля 2023 г. N 163-П)

За принятие проголосовали:

(Поправка. ИУС N 2-2024).

4 Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 сентября 2023 г. N 1005-ст межгосударственный стандарт ГОСТ 32974.4-2023 (ISO 21360-4:2018) введен в действие в качестве национального стандарта Российской Федерации с 1 декабря 2023 г.

5 Настоящий стандарт является модифицированным по отношению к международному стандарту ISO 21360-4:2018* "Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы" ("Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 4: Turbomolecular vacuum pumps", MOD) путем включения дополнительного раздела, который выделен в тексте курсивом**.

________________

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей.

** В оригинале обозначения и номера стандартов и нормативных документов в разделах "Предисловие", 2 "Нормативные ссылки", 7 "Требования безопасности", п.5.5 "Измерение степени сжатия" и приложении ДА приводятся обычным шрифтом, остальные по тексту документа выделены курсивом. - Примечания изготовителя базы данных.

Сведения о соответствии ссылочных межгосударственных стандартов международным стандартам, использованным в качестве ссылочных в примененном международном стандарте, приведены в дополнительном приложении ДА

6 ВЗАМЕН ГОСТ 33518-2015

Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящего стандарта и изменений к нему на территории указанных выше государств публикуется в указателях национальных стандартов, издаваемых в этих государствах, а также в сети Интернет на сайтах соответствующих национальных органов по стандартизации.

В случае пересмотра, изменения или отмены настоящего стандарта соответствующая информация будет опубликована на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации в каталоге "Межгосударственные стандарты"

ВНЕСЕНА поправка, опубликованная в ИУС N 2, 2024 год

Поправка внесена изготовителем базы данных

Введение

Настоящий стандарт определяет стандартные методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов и дополняет положения ГОСТ 32974.1, в котором приведены общие описания измерения рабочих характеристик вакуумных насосов.

Приведенные в настоящем стандарте методы широко используются согласно действующим национальным и международным стандартам. Цель настоящего стандарта - представить применяемые на данный момент методы измерения характеристик вакуумных турбомолекулярных насосов. Настоящий стандарт имеет приоритет в случае возникновения противоречий с ГОСТ 32974.1.

     1 Область применения

Настоящий стандарт совместно с ГОСТ 32974.1 устанавливает методы измерения характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов, распространяется на все типы и размеры турбомолекулярных вакуумных насосов:

- с механическими или магнитными подшипниками;

- с или без дополнительной(ых) молекулярной(ых) ступени(ей) или других откачных ступеней на валу;

- одним или несколькими впускными отверстиями.

Турбомолекулярные вакуумные насосы поддерживаются форвакуумными насосами, их производительность не может быть полностью определена кривой быстроты действия. Производительность зависит от привода и выпускного давления турбомолекулярного вакуумного насоса.

Характеристики дополняет следующая информация:

- данные о производительности и выпускном давлении турбомолекулярного вакуумного насоса;

- кривая степени сжатия (степень сжатия в зависимости от выпускного давления турбомолекулярного вакуумного насоса).

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использована нормативная ссылка на следующий межгосударственный стандарт:

ГОСТ 32974.1-2023 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов и классификаторов на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (www.easc.by) или по указателям национальных стандартов, издаваемым в государствах, указанных в предисловии, или на официальных сайтах соответствующих национальных органов по стандартизации. Если на документ дана недатированная ссылка, то следует использовать документ, действующий на текущий момент, с учетом всех внесенных в него изменений. Если заменен ссылочный документ, на который дана датированная ссылка, то следует использовать указанную версию этого документа. Если после принятия настоящего стандарта в ссылочный документ, на который дана ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение применяется без учета данного изменения. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 32974.1, а также следующие термины с соответствующими определениями:

3.1 наибольшее выпускное давление (critical backing pressure ): Максимальное давление на выходе, которое вакуумный насос и приводное устройство могут выдержать при непрерывной работе без повреждений или перегрузки, при котором насос имеет степень сжатия 10, а подача продувочного газа отсутствует.

Примечания

1 - наибольшее впускное давление на входе. Частота вращения турбомолекулярного вакуумного насоса может быть меньшей в этой рабочей точке. Значение зависит от частоты вращения и типа газа. Эти данные должны быть указаны вместе со значением .

2 Измерение с продувочным газом дает разные результаты (при перекачке легких газов на входе использование тяжелого продувочного газа будет влиять на значение наибольшего выпускного давления ). Поэтому поток продувочного газа должен быть равен нулю.

3.2 максимальная производительность (мaximum throughput ): Максимальный поток газа, который может откачиваться продолжительное время без повреждения или выхода из строя насоса.

Примечания

1 Выражается в Па·л/с, мбар·л/с, м·Па/с, мм рт.ст.·л/с или стандартных см/мин (sccm).

2 Ограничивающий параметр зависит от конструкции насоса. В большинстве случаев это максимальная температура на определенном участке. Значение зависит, например, от перекачиваемого газа, используемого форвакуумного насоса, частоты вращения и условий охлаждения. Если выражено в Па·л/с или мбар·л/с, м·Па/с или мм рт.ст.·л/с, тогда температура измерительной камеры должна быть зафиксирована, поскольку это значение зависит от температуры газа. Это не распространяется на значение , указанное в sccm.

3.3 быстрота действия (volume flow rate ):

,                                                                      (1)

где V - объем;

t - время.

Пример - В ГОСТ 32974.1 быстрота действия - это объем газа в единицу времени, который при стандартных условиях вытекает из измерительной камеры через отверстие впускного фланца насоса.

Примечания

1 На практике быстроту действия насоса для данного газа условно принимают равной отношению производительности насоса для данного газа к равновесному давлению в измерительной камере. Единицы измерения, принятые для быстроты действия, - м/ч или л/с.

2 Вместо термина "быстрота действия" часто используют термин "скорость откачки" и символ "S" [1].

3.4 предельное остаточное давление (ultimate pressure): Минимальное значение, к которому асимптотически стремится давление в измерительной камере при закрытом натекателе.

Примечания

1 Предельное остаточное давление всегда ниже, чем базовое давление .

2 Это наиболее низкое давление, создаваемое насосом.

3 Рекомендуется не указывать значение предельного остаточного давления в инструкции производителя. В настоящем стандарте не приведен метод определения предельного остаточного давления. Однако если производитель устанавливает предельное остаточное давление, то следует указать условия и временной диапазон измерения.

3.5 базовое давление турбомолекулярного насоса (base pressure turbomolecular pump ): Давление, полученное в измерительной камере через 48 ч после процедуры обезгаживания.

Примечание - Условия работы вакуумного насоса и испытательной системы без использования пробного газа (5.6).

3.6 эффективная степень сжатия (effective compression ratio ): Отношение выпускного давления к впускному давлению турбомолекулярного вакуумного насоса