ГОСТ 32974.1-2023

(ISO 21360-1:2020)

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

Вакуумная технология

СТАНДАРТНЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

Часть 1

Общие положения

Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 1. General description

МКС 23.160

Дата введения 2023-12-01

Предисловие

Цели, основные принципы и общие правила проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены ГОСТ 1.0 "Межгосударственная система стандартизации. Основные положения" и ГОСТ 1.2 "Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, обновления и отмены"

Сведения о стандарте

1 ПОДГОТОВЛЕН Акционерным обществом "Вакууммаш" (АО "Вакууммаш") и Федеральным государственным бюджетным учреждением "Российский институт стандартизации" (ФГБУ "Институт стандартизации") на основе официального перевода на русский язык англоязычной версии указанного в пункте 5 стандарта, который выполнен АО "Вакууммаш"

2 ВНЕСЕН Межгосударственным техническим комитетом по стандартизации МТК 249 "Вакуумная техника"

3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол от 28 июля 2023 г. N 163-П)

За принятие проголосовали:

4 Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 сентября 2023 г. N 1006-ст межгосударственный стандарт ГОСТ 32974.1-2023 (ISO 21360-1:2020) введен в действие в качестве национального стандарта Российской Федерации с 1 декабря 2023 г.

5 Настоящий стандарт является модифицированным по отношению к международному стандарту ISO 21360-1:2020* "Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения" ("Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 1: General description", MOD) путем включения дополнительных положений, которые выделены в тексте курсивом**

________________

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей.

** В оригинале обозначения и номера стандартов и нормативных документов в разделах  "Предисловие" и 6 "Требования безопасности" приводятся обычным шрифтом, остальные по тексту документа выделены курсивом. - Примечания изготовителя базы данных.

6 ВЗАМЕН ГОСТ 32974.1-2016 (ISO 21360-1:2012)

Информация о введении в действие (прекращении действия) настоящего стандарта и изменений к нему на территории указанных выше государств публикуется в указателях национальных стандартов, издаваемых в этих государствах, а также в сети Интернет на сайтах соответствующих национальных органов по стандартизации.

В случае пересмотра, изменения или отмены настоящего стандарта соответствующая информация будет опубликована на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации в каталоге "Межгосударственные стандарты"

Введение

Настоящий стандарт является базовым стандартом по определению методов измерений технических характеристик вакуумных насосов. Приведенные методы достаточно известны по существующим национальным и международным стандартам. При разработке настоящего стандарта ставилась цель создать единый документ, содержащий методы измерения технических характеристик вакуумных насосов и упростить в будущем разработку стандартов на конкретные типы вакуумных насосов.

Стандарты на конкретные типы вакуумных насосов должны содержать приемлемый выбор методов измерения, взятых из настоящего стандарта, для определения технических характеристик, предельных значений, специфических условий эксплуатации и особенностей конкретного типа насоса. Если есть различия между настоящим стандартом и стандартом на конкретный тип насоса, то приоритетным является стандарт на конкретный тип насоса.

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, по одному методу измерения базового давления, степени сжатия и наибольшего выпускного давления.

Первый метод определения быстроты действия (метод постоянного потока) является наиболее распространенным, когда постоянный поток газа напускается в насос, при котором измеряется впускное давление. На практике измерение потока газа с высокой точностью может быть затруднено. По этой причине приведены два других метода, при которых прямое измерение потока газа не используется.

Второй метод определения быстроты действия (метод двух манометров) обычно используется при небольшой величине потока и малых впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Он основан на измерении перепада давлений в двухкамерной измерительной камере, где две камеры разделены диафрагмой с круглым отверстием.

Третий метод определения быстроты действия (метод постоянного объема) подходит для автоматизированного измерения. Он базируется на известной зависимости времени вакуумирования объема от параметров процесса вакуумирования: отношения давлений в начале и конце интервала вакуумирования, величины объема, времени вакуумирования. Различные воздействия, такие как натекание и скорость десорбции, охлаждение газа почти до изоэнтропического расширения в интервале откачки и увеличение газокинетического сопротивления в соединительной линии между измерительной камерой и насосом, вызванные изменением режимов течения газа при низких давлениях, влияют на измерение давления и, в результате, на быстроту действия. При выборе метода измерения необходимо учитывать технические характеристики конкретных типов вакуумных насосов: например, измерение наибольшего выпускного давления необходимо только для насоса, который работает с форвакуумным насосом. Измерения характеристик вакуумного насоса, не описанные в настоящем стандарте (например, измерение потребляемой мощности), определяются стандартом на конкретный тип вакуумного насоса.

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использована нормативная ссылка на следующий межгосударственный стандарт:

ГОСТ ISO/IEC 17025 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов и классификаторов на официальном интернет-сайте Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (www.easc.by) или по указателям национальных стандартов, издаваемым в государствах, указанных в предисловии, или на официальных сайтах соответствующих национальных органов по стандартизации. Если на документ дана недатированная ссылка, то следует использовать документ, действующий на текущий момент, с учетом всех внесенных в него изменений. Если заменен ссылочный документ, на который дана датированная ссылка, то следует использовать указанную версию этого документа. Если после принятия настоящего стандарта в ссылочный документ, на который дана ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение применяется без учета данного изменения. Если ссылочный документ отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями (см. также [1]):

3.1 быстрота действия (volume flow rate ): Объем газа, вытекающий при нормальных условиях из измерительной камеры через впускное отверстие насоса в единицу времени

     ,

где с учетом [2] V - объем;

t - время.

Примечания

1 На практике быстрота действия насоса для данного газа условно принимается равной отношению производительности насоса для данного газа к равновесному давлению в определенном месте. Единицы измерения, принятые для быстроты действия, м/ч или л/с.

2 Вместо термина "быстрота действия" часто используется термин "скорость откачки" и обозначение "S".

3.2 базовое давление (base pressure ): Давление, полученное в измерительной камере после создания соответствующих условий в вакуумном насосе и измерительной камере.

Примечание - Условия и методика испытаний насосов с базовым давлением приведены в 5.4.

3.3 впускное давление , , (inlet pressure , , ): Давление на входе насоса, измеряемое в определенном месте измерительной камеры.

3.4 выпускное давление (backing pressure ): Давление в выходном сечении вакуумного насоса.

3.5 измерительная камера (test dome): Специальная вакуумная камера определенной формы и размеров, присоединенная к входу насоса, через которую измеряемый поток газа может поступать в насос, и оборудованная средствами для измерения характеристик вакуумного насоса.

3.6 максимальное рабочее давление (maximum working pressure ): Максимальное давление на входе насоса, которое вакуумный насос с приводным устройством может выдержать при условии непрерывной безаварийной работы.

3.7 наибольшее выпускное давление (critical backing pressure ): Давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще может работать.

Примечание - Величина наибольшего выпускного давления установлена в инструкции по эксплуатации или в стандарте на конкретный тип вакуумного насоса.

3.8 производительность Q (throughput Q): Поток газа во входном сечении насоса, вычисляемый по формуле

     ,

где - впускное давление;

V - объем транспортируемого газа;

t - время;

- быстрота действия.

3.9 степень сжатия (compression ratio ): Степень сжатия без газовой нагрузки, где - базовое давление форвакуумного насоса, а - базовое давление испытуемого насоса при нулевой производительности

     .

3.10 стандартная быстрота действия (standard gas flow rate ): Быстрота действия при стандартных условиях для газов, т.е. 0°C и 101325 Па.

     4 Обозначения

В настоящем стандарте применены следующие обозначения:

a - внутренний диаметр соединительного трубопровода между испытуемым насосом и быстродействующим клапаном (рисунок 6, позиции 3 и 5), м;

A - площадь поперечного сечения соединительного трубопровода между измерительной камерой и быстродействующим клапаном (рисунок 6, позиции 3 и 5), м;

C - проводимость, м/с (10 л/с);

d - диаметр отверстия, м;

D - внутренний диаметр измерительной камеры, м;