ГОСТ 33518-2015
(ISO 5302:2003)

     

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

Вакуумная технология

ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ

ИЗМЕРЕНИЕ РАБОЧИХ ХАРАКТЕРИСТИК

Vacuum technology. Turbomolecular pumps. Measurement of performance characteristics

МКС 23.160

ОКП 36 4800

Дата введения 2017-01-01

     

Предисловие

Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены в ГОСТ 1.0-92 "Межгосударственная система стандартизации. Основные положения" и ГОСТ 1.2-2009 "Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, применения, обновления и отмены"

Сведения о стандарте

1 ПОДГОТОВЛЕН Открытым акционерным обществом "Вакууммаш" (ОАО "Вакууммаш") на основе собственного перевода на русский язык англоязычной версии стандарта, указанного в пункте 4

2 ВНЕСЕН Межгосударственным техническим комитетом по стандартизации МТК 249 "Вакуумная техника"

3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол от 29 сентября 2015 г. N 80-П)

За принятие стандарта проголосовали:

(Поправка. ИУС N 3-2022).

4 Настоящий стандарт является модифицированным по отношению к международному стандарту ISO 5302:2003* "Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение рабочих характеристик" ("Vacuum technology - Turbomolecular pumps - Measurement of performance characteristics", MOD). При этом потребности национальных экономик стран, указанных выше, и особенности межгосударственной стандартизации учтены в дополнительном разделе 8, который выделен курсивом.

________________

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей.

** В бумажном оригинале обозначения и номера стандартов и нормативных документов в разделах "Предисловие", "Библиография" приводятся обычным шрифтом, остальные по тексту документа выделены курсивом. - Примечания изготовителя базы данных.

Международный стандарт разработан техническим комитетом по стандартизации ISO/TC 112 "Вакуумная техника" международной организации по стандартизации (ISO).

Сравнение структуры настоящего стандарта со структурой указанного международного стандарта приведено в дополнительном приложении ДА.

5 Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 20 мая 2016 г. N 367-ст межгосударственный стандарт ГОСТ 33518-2015 (ISO 5302:2003) введен в действие в качестве национального стандарта Российской Федерации с 1 января 2017 г.

6 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты" (по состоянию на 1 января текущего года). В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)

ВНЕСЕНА поправка, опубликованная в ИУС N 3, 2022 год, введенная в действие с 12.10.2021

Поправка внесена изготовителем базы данных

     1 Область применения

Настоящий стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или магнитными подшипниками; и с или без дополнительной молекулярной ступени.

Примечание - Для работы турбомолекулярных насосов требуются форвакуумные насосы, их рабочие характеристики невозможно окончательно определить без следующих значений характеристик, дополнительно к кривой быстроты действия относительно впускного давления:

- кривой производительности;

- кривой степени сжатия;

- кривой изменения давления на входе для всего диапазона и для различных газов.

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте применена нормативная ссылка на следующий межгосударственный стандарт*:

________________

* Таблицу соответствия национальных стандартов международным см. по ссылке. - Примечание изготовителя базы данных.

ГОСТ 5197-85 Вакуумная техника. Термины и определения

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов на территории государства по соответствующему указателю стандартов, составленному по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 5197, а также следующие термины с соответствующими определениями:

3.1 наибольшее выпускное давление p (critical backing pressure): Максимальное выпускное давление p, при котором насос имеет степень сжатия p/p2 и при котором идет истечение потока газа (выхлоп).

Примечание - p - высоковакуумное давление на входе насоса - впускное давление.

3.2 максимальная производительность Q, Па·м/с [мбар·л/с] (maximum throughput): Максимальный поток газа, который может откачиваться бесперебойно.

Примечание - Предельные параметры зависят от конструкции насоса. В большинстве случаев они указываются как максимальная температура на определенном участке. Значение Q зависит от откачиваемого газа, используемого форвакуумного насоса, условий охлаждения и т.д.

3.3 быстрота действия q (volume flow rate): Скорость объемного потока, то есть скорость изменения объема газа в единицу времени.

Примечания

1 На практике быстрота действия данного насоса для данного газа условно принимается равной отношению производительности насоса для данного газа к равновесному давлению в определенном месте. Единицы измерения, принятые для быстроты действия (м/ч) или (л/с).

2 Вместо "быстроты действия" часто используется термин "скорость откачки" и символ "S".

3.4 предельное остаточное давление (ultimate pressure): Величина, к которой асимптотически стремится давление в измерительной камере.

Примечания

1 Это самое низкое давление, создаваемое насосом.

2 Рекомендуется не указывать значение предельного остаточного давления в инструкции производителя. Поэтому в данном стандарте не указывается методика измерения предельного остаточного давления. Однако если производитель указывает предельное остаточное давление, то также следует указать и рабочие условия, при которых производится измерение.

3.5 минимальное рабочее давление p (minimum operational pressure): Давление, получаемое в измерительной камере спустя 48 ч, после ее обезгаживания.

3.6 степень сжатия K (compression ratio): Отношение давления на выпускном фланце p к давлению на впускном фланце p турбомолекулярного насоса.

.

Примечание - Для получения степени сжатия при нулевой быстроте действия K, для указанного газа, парциальное давление этого газа в выпускном патрубке должно быть, по крайней мере, 90% от p.

3.7 максимальное рабочее давление p (maximum working pressure): Максимальное давление во входном сечении, при котором турбомолекулярный насос и приводное устройство могут безаварийно работать в течение длительного времени.

     4 Обозначения

C - проводимость, м/с (=10 л/с);

d - диаметр отверстия, м;

D - внутренний диаметр измерительной камеры, м;

K - степень сжатия;

K, K - специальные значения степени сжатия;

K - степень сжатия насоса при нулевой производительности;

L - длина отверстия в диафрагме, м;

M - молярная масса газа, кг/моль;

p - минимальное рабочее давление, Па (или мбар);

p - впускное давление, Па (или мбар);

p - максимальное рабочее давление, Па (или мбар);

p - выпускное давление, Па (или мбар);