Санитарные правила для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
САНИТАРНЫЕ ПРАВИЛА ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
УТВЕРЖДАЮ
Заместитель главного государственного санитарного врача СССР А.М.Скляров N 5181-90, 26 июня 1990 г.
- 1. Область применения и общие положения
- 2. Производственные здания и помещения
- 3. Технологические процессы и оборудование
- 4. Отопление и вентиляция
- 5. Ионизация воздуха
- 6. Освещение производственных помещений и рабочих мест
- 7. Производственный шум
- 8. Санитарно-бытовые и вспомогательные помещения
- 9. Средства индивидуальной защиты
- 10. Физиолого-гигиенические требования к режиму труда и медицинское обслуживание