ИТС 34-2020 Производство прочих основных неорганических химических веществ

     Раздел 3 Производство трихлорсилана и тетрахлорсилана

Трихлорсилан (силан треххлористый, силикохлороформ, химическая формула ) и тетрахлорсилан (четыреххлористый кремний, силиконхлорид, химическая формула ) выпускаются промышленностью в виде бесцветной или желтого цвета жидкости.

Трихлорсилан применяется в следующих производствах:

- производство силанов;

- производство кремнийорганических продуктов;

- производство фенилтрихлорсилана, используемого для получения термостойких и электроизоляционных лаков, смол, гидрофобизирующих жидкостей, масел и т.д.

Трихлорсилан используется также для получения кремния полупроводниковой степени чистоты.

Тетрахлорсилан используется для получения эфиров ортокремниевой кислоты и других кремнийорганических соединений, высокодисперсного диоксида кремния (аэросила), а также для получения кремния полупроводниковой степени чистоты.

Три- и тетрахлорсилан производят гидрохлорированием кристаллического кремния в реакторе с псевдоожиженным слоем. Оба процесса имеют общую головную стадию получения смеси трихлорсилан-тетрахлорсилан, из которой далее выделяют и .