ИТС 34-2020 Производство прочих основных неорганических химических веществ
3.2 Текущие уровни потребления ресурсов и эмиссии в окружающую среду при производстве трихлорсилана и тетрахлорсилана
Нормы расходов материальных и энергетических ресурсов приведены в таблице 3.3 и 3.4.
Таблица 3.3 - Нормы расходов материальных и энергетических ресурсов при производстве три- и тетрахлорсилана