ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

     5.5 Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления

Все измерительные приборы должны быть откалиброваны либо:

а) в соответствии со специальными стандартами по вакууму или с национальным стандартом;

б) с помощью приборов для абсолютных измерений в международной системе единиц.

Используемые откалиброванные измерительные приборы должны иметь сертификат калибровки согласно ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025.

5.5.1 Экспериментальная установка

Экспериментальная установка для измерения степени сжатия и наибольшего выпускного давления показана на рисунке 8.

1 - измерительная камера; 2 - форвакуумный насос; 3 - испытуемый насос; 4 - клапан напуска газа; 5 - клапан напуска газа; 6 - вакуумметр для измерения ; 7 - вакуумметр для измерения ; 8 - вакуумметр или масс-спектрометр; 9 - регулируемый клапан; 10 - нагревательная рубашка (дополнительно)

Рисунок 8 - Схема установки для измерения степени сжатия и наибольшего выпускного давления

Поверхности измерительной камеры, уплотнители и фланцы должны соответствовать ожидаемому базовому давлению. Для давления менее 10 Па должны быть использованы прогреваемые фланцы с уплотнителями.

Рекомендуется установка нескольких вакуумметров на разные диапазоны давлений. Для давлений <10 Па должен быть применен масс-спектрометр.

Если используют несколько ионизационных датчиков, прямое соединение источников ионов недопустимо.

Для получения низкого базового давления 10 Па на форвакуумной стороне рекомендуется поместить турбомолекулярный насос между клапаном напуска газа и форвакуумным насосом. Вакуумметр (см. рисунок 8, позиция 6) должен устанавливаться как можно ближе к выходу испытуемого насоса на выпускном трубопроводе с равным ему диаметром. Соединительный трубопровод с вакуумметром должен быть перпендикулярен линии оси выпускного отверстия. Необходимо, чтобы он был смещен вверх от клапана напуска газа (см. рисунок 8, позиция 4). Нужно установить регулируемый клапан для дросселирования потока газа к форвакуумному насосу для сохранения газа для испытания, который должен иметь чистоту 99,999% по массе.

5.5.2 Определение степени сжатия и наибольшего выпускного давления

Степень сжатия определяется по формуле

,                                                            (14)

где и - базовые давления испытуемого и форвакуумного насосов.

Для измерения степени сжатия газ впускается в выходной канал испытуемого насоса и определяются давления и . Максимальное давление , при котором испытуемый насос (см. рисунок 8, позиция 3) может непрерывно откачивать газ, является наибольшим выпускным .

5.5.3 Проведение измерений

Для каждого тестового газа сначала должно быть получено базовое давление в измерительной камере (см. 5.4). Соответствующее форвакуумное давление может быть небольшим по сравнению с повышением давления для первой точки измерения, вызванным впуском газа. Температура окружающей среды должна сохраняться в пределах ±1,5 °С в интервале от 18 °С до 25 °С.

Клапан напуска газа (см. рисунок 8, позиция 4) открывают так, чтобы давление повышалось постепенно. Значения форвакуумного давления и впускного давления записывают одновременно, когда они стабильны, в пределах ±5% за 1 мин.

Измерения фиксируют в трех точках в каждом десятичном диапазоне форвакуумного давления.

Продолжают измерение, пока не достигнет наибольшего выпускного давления , определенного производителем испытуемого насоса либо специальным стандартом для этого типа.

В зависимости от типа насоса измерения степени сжатия можно выполнять с производительностью "0" или заданной для испытуемого насоса, если это предусмотрено руководством по эксплуатации или его специальным стандартом.

Примечание - Степень сжатия можно измерять с различными газами. Когда они меняются, трубопроводы, присоединенные к клапану напуска, продуваются новым газом перед следующим измерением.

5.5.4 Погрешность измерения

Погрешность измерения степени сжатия можно установить только для значений и - должна быть меньше или равна ±20%.

5.5.5 Оценка измерений