ГОСТ Р 54807-2011 (ИСО 21360:2007) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов

     1 Область применения

Настоящий стандарт устанавливает три различных метода измерения быстроты действия и один - измерения базового давления, степени сжатия и наибольшего выпускного давления вакуумного насоса.

Первый метод измерения быстроты действия (метод постоянного потока) является основным, при котором постоянный поток газа поступает в насос, пока измеряется впускное давление. На практике измерение потока газа может быть затруднено или неточно. По этой причине описаны два других метода, при которых прямое измерение не используется.

Второй метод измерения быстроты действия (метод двух манометров) обычно применяется при небольшой величине расхода и низких впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Основан на определении коэффициента давлений в измерительной камере, где стенка с круглым отверстием разделяет ее на две части.

Третий метод измерения быстроты действия (метод постоянного объема) основан на откачке большого объема и удобен для автоматического измерения. Быстрота действия вычисляется по давлениям начала и окончания откачки и по объему измерительной камеры. Такие воздействия, как натекание и скорость десорбции, охлаждение газа почти до изоэнтропического расширения в интервале откачки и увеличение газокинетического сопротивления в линии соединения между измерительной камерой и насосом, вызванные молекулярным потоком при низких давлениях, влияют на измерение давления и, как следствие, на быстроту действия.

Выбор необходимых методов измерения зависит от свойств специфических типов вакуумных насосов (например, измерение критического выпускного давления необходимо только для насосов, которым нужен форвакуумный насос). Все данные, измеряемые на вакуумном насосе, но не описанные в указанном национальном стандарте (например, измерение потребляемой мощности), представлены в стандарте на специфические насосы.