В настоящем стандарте применены термины с соответствующими определениями по [1]:
3.1 быстрота действия (volume flow rate): Объем газа, проходящий через входное отверстие насоса за единицу времени, измеренный при давлении в определенном месте.
Примечания
1 Для практических целей быстрота действия насоса для данного газа условно принимается равной отношению его производительности к равновесному давлению этого газа во входном отверстии насоса. Единицы измерения, принятые для быстроты действия, м/ч или л/с.
2 Вместо "быстроты действия" часто используется термин "скорость откачки" и символ "".
3.2 впускное давление , , (inlet pressure): Давление на входе насоса, измеряемое в определенном месте измерительной камеры.
3.3 базовое давление (base pressure): Давление, полученное в измерительной камере после создания соответствующих условий в вакуумном насосе и измерительной камере (см. 5.4).
Примечание - Предельное остаточное давление - величина, к которой асимптотически стремится давление в измерительной камере при отсутствии натекания газа: самое низкое давление, получаемое насосом; в настоящем стандарте методы измерения не приведены.
3.4 максимальное рабочее давление (maximum working pressure): Максимальное давление во входном сечении, при котором вакуумный насос и приводное устройство могут безаварийно работать в течение длительного времени.
3.5 выпускное давление (backing pressure): Давление в выходном сечении вакуумного насоса.
3.6 наибольшее выпускное давление (critical backing pressure): Величина наибольшего выпускного давления (приводится в руководстве по эксплуатации или стандарте на конкретный тип вакуумного насоса).
3.7 степень сжатия (compression ratio): Отношение выпускного давления к впускному давлению вакуумного насоса при нулевой производительности, выраженное формулой
.
3.8 измерительная камера (test dome): Специальная присоединенная ко входу насоса и оборудованная средствами для измерения его характеристик вакуумная камера определенной формы и размеров, через которую измеряемый поток газа может поступать в насос.
3.9 производительность (throughput): Расход газа во входном сечении насоса, определяемый формулой
,
где - впускное давление (давление на входе насоса со стороны высокого вакуума);
- быстрота действия;
- время;
- объем измерительной камеры.
3.10 стандартная быстрота действия (standard gas flow rate): Быстрота действия при стандартных условиях для газов в соответствии с ISO 3529-1 [2].