ГОСТ Р 54807-2011
(ИСО 21360:2007)

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Вакуумная технология

СТАНДАРТНЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance

ОКС 23.160

ОКП 36 4800

Дата введения 2012-07-01

Предисловие

Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N 184-ФЗ "О техническом регулировании", а правила применения национальных стандартов Российской Федерации - ГОСТ Р 1.0-2004 "Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения"

Сведения о стандарте

1 РАЗРАБОТАН Открытым акционерным обществом "Вакууммаш" на основе собственного аутентичного перевода на русский язык стандарта, указанного в пункте 4

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 249 "Вакуумная техника"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 13 декабря 2011 г. N 1171-ст

4 Настоящий стандарт является модифицированным по отношению к международному стандарту ИСО 21360:2007* "Вакуумная технология. Стандартные методы для измерения характеристик вакуумных насосов. Общие положения" (ISO 21360:2007 "Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - General description")

________________

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей. - Примечание изготовителя базы данных.

5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячно издаваемых информационных указателях "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет

Введение

Настоящий стандарт является основополагающим в комплексе национальных стандартов на вакуумное оборудование. Подготовлен на основе международного стандарта ИСО 21360:2007 "Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Общие положения" методом прямого применения.

Стандарт устанавливает три различных метода измерения быстроты действия и один измерения базового давления, степени сжатия и наибольшего выпускного давления вакуумного насоса.

Цель разработки настоящего стандарта, содержащего идентичный текст международного стандарта ИСО 21360:2007, - установление для разработчиков и изготовителей вакуумного оборудования, а также для других заинтересованных сторон единой методики измерения характеристик вакуумных насосов для их гармонизации с зарубежным законодательством.

В результате этого данные, приводимые в эксплуатационной документации как отечественных, так и зарубежных изготовителей, будут иметь соответствующую сравнимую основу для взаимной выгоды изготовителей и пользователей.

     1 Область применения

Настоящий стандарт устанавливает три различных метода измерения быстроты действия и один - измерения базового давления, степени сжатия и наибольшего выпускного давления вакуумного насоса.

Первый метод измерения быстроты действия (метод постоянного потока) является основным, при котором постоянный поток газа поступает в насос, пока измеряется впускное давление. На практике измерение потока газа может быть затруднено или неточно. По этой причине описаны два других метода, при которых прямое измерение не используется.

Второй метод измерения быстроты действия (метод двух манометров) обычно применяется при небольшой величине расхода и низких впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Основан на определении коэффициента давлений в измерительной камере, где стенка с круглым отверстием разделяет ее на две части.

Третий метод измерения быстроты действия (метод постоянного объема) основан на откачке большого объема и удобен для автоматического измерения. Быстрота действия вычисляется по давлениям начала и окончания откачки и по объему измерительной камеры. Такие воздействия, как натекание и скорость десорбции, охлаждение газа почти до изоэнтропического расширения в интервале откачки и увеличение газокинетического сопротивления в линии соединения между измерительной камерой и насосом, вызванные молекулярным потоком при низких давлениях, влияют на измерение давления и, как следствие, на быстроту действия.

Выбор необходимых методов измерения зависит от свойств специфических типов вакуумных насосов (например, измерение критического выпускного давления необходимо только для насосов, которым нужен форвакуумный насос). Все данные, измеряемые на вакуумном насосе, но не описанные в указанном национальном стандарте (например, измерение потребляемой мощности), представлены в стандарте на специфические насосы.

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ Р ИСО/МЭК 17025-2009* Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий

________________

* Вероятно, ошибка оригинала. Следует читать: ГОСТ ИСО/МЭК 17025-2009, здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных.

ГОСТ Р 52615-2006 (ЕН 1012-2:1996) Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодно издаваемому информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по соответствующим ежемесячно издаваемым информационным указателям, опубликованным в текущем году. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины с соответствующими определениями по [1]:

3.1 быстрота действия (volume flow rate): Объем газа, проходящий через входное отверстие насоса за единицу времени, измеренный при давлении в определенном месте.

Примечания

1 Для практических целей быстрота действия насоса для данного газа условно принимается равной отношению его производительности к равновесному давлению этого газа во входном отверстии насоса. Единицы измерения, принятые для быстроты действия, м/ч или л/с.

2 Вместо "быстроты действия" часто используется термин "скорость откачки" и символ "".

3.2 впускное давление , , (inlet pressure): Давление на входе насоса, измеряемое в определенном месте измерительной камеры.

3.3 базовое давление (base pressure): Давление, полученное в измерительной камере после создания соответствующих условий в вакуумном насосе и измерительной камере (см. 5.4).

Примечание - Предельное остаточное давление - величина, к которой асимптотически стремится давление в измерительной камере при отсутствии натекания газа: самое низкое давление, получаемое насосом; в настоящем стандарте методы измерения не приведены.

3.4 максимальное рабочее давление (maximum working pressure): Максимальное давление во входном сечении, при котором вакуумный насос и приводное устройство могут безаварийно работать в течение длительного времени.

3.5 выпускное давление (backing pressure): Давление в выходном сечении вакуумного насоса.

3.6 наибольшее выпускное давление (critical backing pressure): Величина наибольшего выпускного давления (приводится в руководстве по эксплуатации или стандарте на конкретный тип вакуумного насоса).

3.7 степень сжатия (compression ratio): Отношение выпускного давления к впускному давлению вакуумного насоса при нулевой производительности, выраженное формулой

.

3.8 измерительная камера (test dome): Специальная присоединенная ко входу насоса и оборудованная средствами для измерения его характеристик вакуумная камера определенной формы и размеров, через которую измеряемый поток газа может поступать в насос.

3.9 производительность (throughput): Расход газа во входном сечении насоса, определяемый формулой

,

где - впускное давление (давление на входе насоса со стороны высокого вакуума);

- быстрота действия;

- время;

- объем измерительной камеры.

3.10 стандартная быстрота действия (standard gas flow rate): Быстрота действия при стандартных условиях для газов в соответствии с ISO 3529-1 [2].

     4 Символы и сокращения

________________

* 100 Па =100 Н/м=1 мбар; 1 Торр =133,3 Па =1 мм рт.ст.