ГОСТ Р 53334-2009 (ИСО 1608-1:1993) Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные пароструйные. Измерение рабочих характеристик. Часть 1. Измерение быстроты действия (скорости откачки)

     4 Аппаратура

4.1 Измерительная камера

4.1.1 Измерительная камера имеет цилиндрическую форму. Конструкция и размеры - в соответствии с рисунком 1.

________________

* Соответствует присоединительному размеру вакуумметра.

1 - напускная трубка; 2 - патрубок для подсоединения вакуумметра

Примечание - Если внутренние части насоса выступают над фланцем (или плоскостью входа) насоса, то плоскость отсчета должна быть расположена в самой высокой точке этих внутренних частей, и на этой плоскости диаметр входного отверстия насоса определяет изготовитель.

Рисунок 1 - Измерительная камера

Осевой размер измерительной камеры равен 1,5 ( - внутренний диаметр камеры). Поток напускаемого в измерительную камеру газа должен быть направлен по оси камеры в сторону, противоположную входному фланцу камеры, на расстоянии от него, равном диаметру камеры. Патрубок для подсоединения вакуумметра должен быть расположен на расстоянии 0,5 от входного фланца камеры с осью, перпендикулярной к оси камеры. Рекомендуется использовать три патрубка для подсоединения вакуумметров.

Ось измерительной камеры должна быть перпендикулярна к плоскости входного фланца насоса. Внутренний диаметр измерительной камеры должен быть равен внутреннему диаметру входного отверстия насоса или входного отверстия любой присоединяемой ловушки.

4.1.2 Для насосов с диаметром входного фланца менее 100 мм используют измерительную камеру диаметром, равным 100 мм. Переход к входному фланцу насоса производится с помощью конического переходника, представленного на рисунке 1.
     

    4.1.3 Измерительная камера должна быть изготовлена из нержавеющей стали с полированными внутренними поверхностями.

Перед сборкой испытательной установки все поверхности, находящиеся в вакууме, должны быть очищены, обезжирены и обезвожены.

4.2 Вакуумметр

Вакуумметры, используемые для измерения давления в измерительной камере, должны иметь относительную погрешность, %, не более:

±5 - при измерении давлений более 1 Па*;

±10 - при измерении давлений в диапазоне от 1 до 10 Па*.

________________

* 100 Па = 100 Н/м = 1 мбар; 1 Torr = 133,3 Па = 1 мм рт.ст.

Примечание - С учетом различия государственной системы обеспечения единства измерений Российской Федерации и систем калибровки средств измерения (далее - СИ), принятой в странах ЕС, погрешность вакуумметров указана относительно образцового СИ первого разряда.

4.3 Напускаемый газ

При проведении испытаний следует использовать сухой воздух, если не оговорено применение иного газа.

4.4 Устройство для измерения потока газа

Устройства, используемые для измерения потоков газа, должны иметь относительную погрешность, %, не более: