9.1 Вычисление масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа 
, нм/пиксель, вдоль направления сканирования вычисляют по формуле
,
где 
- значение проекции наклонной стенки выступа, приведенное в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;
- значение проекции наклонной стенки рельефной меры, измеренное по видеопрофилю, пиксель.
Примечание - При вычислении масштабного коэффициента видеоизображения используют значение проекции наклонной стенки , соответствующее движению сканера от вершины выступа к дну канавки. Это значение при выполнении условия по 8.2 не зависит от угла наклона зонда микроскопа.
9.2 Вычисление эффективного радиуса острия зонда микроскопа
Эффективный радиус острия зонда микроскопа 
, нм, вычисляют по формуле
,
где - масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1, нм/пиксель;
- ширина нижнего основания, измеренная по видеопрофилю, пиксель;
- ширина нижнего основания выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм.
9.3 Вычисление цены деления вертикальной шкалы микроскопа
Цену деления вертикальной шкалы микроскопа 
, нм/пиксель, вычисляют по формуле
,
где 
- высота выступа, приведенная в паспорте (формуляре) на рельефную меру, нм;
- высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель.
9.4 Вычисление относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортогональности
Если значение 
не равно в пределах заданной точности измерений, то относительное отклонение Z-сканера микроскопа от ортогональности по отношению к направлению сканирования 
(безразмерная величина) вычисляют по формуле
,
где - масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, вычисленный по 9.1, нм/пиксель;
, - проекции наклонных стенок рельефной меры, измеренные по видеопрофилю в направлении сканирования слева направо, пиксели;
- высота выступа рельефной меры, измеренная по видеопрофилю, пиксель;
- цена деления вертикальной шкалы микроскопа, вычисленная по 9.3, нм/пиксель.
