ГОСТ Р 8.635-2007 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

     4 Технические требования

4.1 Требования к неопределенностям измерений параметров, определяемых в процессе калибровки

4.1.1 Суммарная стандартная неопределенность измерения масштабного коэффициента видеоизображения микроскопа должна быть не более 0,01 нм/пиксель.

4.1.2 Суммарная стандартная неопределенность измерения цены деления вертикальной шкалы микроскопа должна быть не более 0,01 нм/пиксель.

4.1.3 Суммарная стандартная неопределенность измерения эффективного радиуса острия зонда микроскопа должна быть не более 1 нм.

4.1.4 Суммарная стандартная неопределенность измерения относительного отклонения Z-сканера микроскопа от ортогональности должна быть не более 0,05.

4.2 Требования к средствам калибровки и вспомогательному оборудованию

4.2.1 Калибровку микроскопа проводят с помощью рельефной меры нанометрового диапазона (далее - рельефная мера), изготовленной по ГОСТ Р 8.628 и поверенной по ГОСТ Р 8.629.

4.2.2 В качестве вспомогательного оборудования применяют оптический микроскоп с увеличением не менее 400.

4.2.3 Допускается применять другие средства калибровки, точность которых соответствует требованиям настоящего стандарта.

4.3 Требования к условиям проведения калибровки

4.3.1 Калибровку микроскопа проводят в следующих условиях:

4.3.2 Помещение (зона), где размещен микроскоп и средства его калибровки, должно быть в эксплуатируемом состоянии и обеспечивать класс чистоты не более класса 8 ИСО по взвешенным в воздухе частицам размерами 0,5 и 5 мкм и концентрациями, определенными по ГОСТ ИСО 14644-1. Периодичность контроля состояния помещения (зоны) определяют по ГОСТ Р ИСО 14644-2. Эксплуатацию помещения (зоны) осуществляют по ГОСТ Р ИСО 14644-5.