ГОСТ 25662-83 (СТ СЭВ 3407-81) Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)

     
     ГОСТ 25662-83*
(СТ СЭВ 3407-81)

Группа Г82

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

Оборудование вакуумное

НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ ДИФФУЗИОННЫЕ

Методы испытаний

Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods*

______________

* Наименование стандарта. Измененная редакция, Изм. N 2.     

ОКП 62 9448

Дата введения 1984-01-01

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 3 марта 1983 г. N 1067 срок действия установлен с 01.01.84 до 01.01.89**

_______________

** Ограничение срока действия снято по протоколу N 4-93 Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС N 4, 1994 год). - Примечание изготовителя базы данных.     

* ПЕРЕИЗДАНИЕ (июнь 1984 г.) с Изменением N 1, утвержденным в апреле 1984 г. (ИУС N 8-84).

ВНЕСЕНО Изменение N 2, утвержденное и введенное в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.11.88 N 3637 с 01.01.89

Изменение N 2 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 2, 1989 год

Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций.

Степень соответствия настоящего стандарта СТ СЭВ 3407-81 приведена в приложении.

Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения - по ГОСТ 5197-85 и ГОСТ 26790-85.

(Измененная редакция, Изм. N 1, 2).

Разделы 1, 2. (Исключены, Изм. N 2).