ГОСТ 25662-83 (СТ СЭВ 3407-81) Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)

3. МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ

3.1. Измерение предельного остаточного давления

3.1.1. Метод измерения предельного остаточного давления основан на измерении давления в специальной камере, откачиваемой испытуемым насосом, через равные промежутки времени при постоянной температуре.

3.1.2. Испытательная установка представлена на черт.1.

1 - измерительная камера; 2, 5 - измерительные преобразователи давления; 3 - диффузионный насос; 4 - клапан ; 6 - клапан ; 7 - механический насос

Черт.1

3.1.3. Измерительная камера представлена на черт.2.

1 - направление потока газа; 2 - напускная трубка; 3 - место подсоединения вакуумметра

Черт.2

Ось камеры должна быть перпендикулярна к плоскости входного фланца насоса, диаметр камеры должен быть равен условному проходу на входе насоса.

Поток напускаемого в измерительную камеру газа должен быть направлен по оси камеры в сторону, противоположную входному фланцу камеры, на расстоянии от него, равном диаметру камеры.

Измерительные преобразователи должны быть расположены на расстоянии 0,5 диаметра камеры от входного фланца камеры.

3.1.4. Вакуумметры, используемые для измерения давления в измерительной камере, должны обеспечивать измерения с относительной погрешностью не более:

±10% - при измерении давлений свыше 1 Па;

±20%     "           "                 " в диапазоне 1·10 Па.

3.1.5. Измерители потоков газа должны обеспечивать измерение с относительной погрешностью:

± 3% - для потоков более 1 Вт;

±5%       "        "        от 1 до 10 Вт;

±10%     "        "        менее 10 Вт.

3.1.6. При измерении следует применять сухой воздух или другой сухой газ.

Перед сборкой установки все поверхности, находящиеся в вакууме, должны быть очищены, высушены и обезжирены.

Для сокращения времени достижения предельного остаточного давления допускается прогревать камеру до максимально допускаемой температуры.

3.1.7. Измерение следует проводить при следующих климатических условиях:

температура окружающей среды (288-298) К±1 К;

относительная влажность не более 80% при температуре 298 К;

атмосферное давление 8,5·10-1·10 Па.

3.1.8. Предельное остаточное давление следует измерять в последовательности, приведенной ниже: