Статус документа

ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей (с Изменением N 1)

ГОСТ 26239.1-84

Группа В59

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

КРЕМНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ, ИСХОДНЫЕ ПРОДУКТЫ ДЛЯ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ И КВАРЦ

Метод определения примесей

Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination

ОКСТУ 1709

Срок действия с 01.01.86
до 01.01.91*
_______________________________
* Ограничение срока действия снято
по протоколу N 7-95 Межгосударственного Совета
по стандартизации, метрологии и сертификации
(ИУС N 11, 1995 год). - Примечание изготовителя базы данных.

РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР

ИСПОЛНИТЕЛИ

Ю.А.Карпов, М.Н.Щулепников, М.К.Винников, Г.Г.Главин, Н.А.Градскова, О.В.Завьялов, Т.И.Зяблова, В.Е.Квин, В.А.Крылов, И.А.Кузовлев, Н.И.Марунина, В.Г.Мискарьянц, В.М.Михайлов, М.Г.Назарова, В.А.Орлова, А.И.Степанов, Н.С.Сысоева, В.И.Фирсов, Г.И.Александрова

ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР

Член Коллегии А.П.Снурников

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2490

ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие с 01.01.91 постановлением Госстандарта СССР от 26.06.90 N 1847

Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 10, 1990 год

Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей, приведенных в табл.1, в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четыреххлористом кремнии и трихлорсилане.

Таблица 1

Интервалы определяемых значений массовой доли примесей


Определяемая примесь	Дифракционный спектрограф ДФC-8	Спектрограф средней дисперсии, ИСП-28
В полупроводниковом кремнии
Алюминий	От 2·10 до 6·10%	От 2·10 до 2·10%
Висмут	От 6·10 до 6·10%	От 6·10 до 6·10%
Железо	От 2·10 до 2·10%	От 2·10 до 2·10%
Золото	От 2·10 до 2·10%	От 2·10 до 2·10%
Кадмий	От 6·10 до 6·10%	От 2·10 до 2·10%
Кальций	От 5·10 до 6·10%	От 5·10 до 2·10%
Кобальт	От 2·10 до 2·10%	От 6·10 до 2·10%
Магний	От 5·10 до 2·10%	От 5·10 до 2·10%
Марганец	От 1·10 до 2·10%	От 1·10 до 2·10%
Медь	От 1·10 до 6·10%	От 1·10 до 6·10%
Никель	От 2·10 до 6·10%	От 2·10 до 2·10%
Олово	От 2·10 до 6·10%	От 2·10 до 2·10%
Свинец	От 2·10 до 6·10%	От 2·10 до 2·10%
Серебро	От 2·10 до 6·10%	От 6·10 до 6·10%
Сурьма	От 2·10 до 6·10%	От 6·10 до 2·10%
Титан	От 5·10 до 6·10%	От 5·10 до 2·10%
Хром	От 2·10 до 6·10%	От 2·10 до 2·10%
Цинк	От 2·10 до 2·10%	От 2·10 до 2·10%
В двуокиси кремния, кварце
Алюминий	От 5·10 до 3·10%	От 5·10 до 1·10%
Висмут	От 3·10 до 3·10%	От 3·10 до 3·10%
Железо	От 1·10 до 1·10%	От 1·10 до 1·10%
Золото	От 1·10 до 1·10%	От 1·10 до 1·10%
Кадмий	От 3·10 до 3·10%	От 1·10 до 1·10%
Кальций	От 3·10 до 3·10%	От 3·10 до 1·10%
Кобальт	От 1·10 до 1·10%	От 3·10 до 1·10%
Магний	От 5·10 до 1·10%	От 5·10 до 1·10%
Марганец	От 5·10 до 1·10%	От 1·10 до 1·10%
Медь	От 1·10 до 3·10%	От 1·10 до 3·10%
Никель	От 1·10 до 3·10%	От 1·10 до 1·10%
Олово	От 1·10 до 3·10%	От 1·10 до 1·10%
Свинец	От 1·10 до 3·10%	От 1·10 до 1·10%
Серебро	От 1·10 до 3·10%	От 3·10 до 3·10%
Сурьма	От 1·10 до 3·10%	От 3·10 до 1·10%
Титан	От 3·10 до 3·10%	От 3·10 до 1·10%
Хром	От 1·10 до 3·10%	От 1·10 до 1·10%
Цинк	От 1·10 до 1·10%	От 1·10 до 1·10%
В четыреххлористом кремнии, трихлорсилане
Алюминий	От 2·10 до 1·10%	От 2·10 до 4·10%
Висмут	От 1·10 до 1·10%	От 1·10 до 1·10%
Железо	От 1·10 до 1·10%	От 1·10 до 4·10%
Золото	От 4·10 до 4·10%	От 4·10 до 4·10%
Кадмий	От 1·10 до 1·10%	От 4·10 до 4·10%
Кальций	От 4·10 до 4·10%	От 4·10 до 4·10%
Кобальт	От 1·10 до 4·10%	От 1·10 до 4·10%
Магний	От 2·10 до 4·10%	От 2·10 до 4·10%
Марганец	От 4·10 до 4·10%	От 4·10 до 4·10%
Медь	От 4·10 до 1·10%	От 4·10 до 1·10%
Никель	От 5·10 до 1·10%	От 4·10 до 4·10%
Свинец	От 5·10 до 1·10%	От 4·10 до 4·10%
Серебро	От 5·10 до 1·10%	От 1·10 до 1·10%
Сурьма	От 4·10 до 1·10%	От 1·10 до 4·10%
Титан	От 2·10 до 1·10%	От 2·10 до 4·10%
Хром	От 5·10 до 1·10%	От 4·10 до 4·10%
Цинк	От 4·10 до 4·10%	От 4·10 до 4·10%

Метод основан на предварительном концентрировании примесей путем удаления основного элемента - кремния в виде тетрафторида при анализе полупроводникового кремния, двуокиси кремния, кварца, и в виде тетрахлорида-тетрафторида при анализе четыреххлористого кремния и трихлорсилана, получении концентрата примесей на графитовом порошке и последующем спектральном анализе концентрата примесей в присутствии хлористого натрия.

(Измененная редакция, Изм. N 1).