СП 56.13330.2021 Производственные здания СНиП 31-03-2001

     5.4.1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды для микроэлектроники и радиоэлектронной промышленности

5.4.1.1 При проектировании, строительстве и эксплуатации чистых помещений должно быть обеспечено выполнение эксплуатационных показателей, необходимых для стабильности параметров чистого помещения и связанных с ними контролируемых сред, с учетом их технического обслуживания. Класс чистоты воздуха помещения определяют по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 (таблица 1) в зависимости от предельно допустимых концентраций аэрозольных частиц в единице объема воздуха в построенном, оснащенном и эксплуатируемом помещении.

5.4.1.2 Требуемая периодичность контроля загрязнений и соответствующий класс чистоты помещений по ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017 (таблица 1) назначаются исходя из минимального размера топологического элемента или толщины пленки.

Рабочие зоны должны быть отделены строительными барьерами или потоками воздуха от загрязнений, колебаний параметров внешней среды (температуры, влажности, давления и т.п.) Следует сокращать занимаемое пространство рабочих зон за счет концентрации материалов и продукции, выполнять разделение персонала и открытого продукта.

5.4.1.3 Соответствие класса чистоты проверяют периодически, не реже одного раза в год, в построенном, оснащенном и эксплуатируемом помещении в соответствии с ГОСТ Р ИСО 14644-2, ГОСТ Р ИСО 14644-3, ГОСТ Р ИСО 14644-5. В зависимости от технологии проверяют различные виды загрязнений согласно ГОСТ Р ИСО 8573-1, ГОСТ ИСО 8573-3, ГОСТ Р ИСО 8573-4, ГОСТ ИСО 8573-5.

5.4.1.4 При задании требований, обеспечивающих качество, надежность, экономичность и безопасность чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред, необходимо учитывать следующие факторы:

- загрязнения, отрицательно влияющие на процесс, - частицы различных размеров (класс, размер по ГОСТ Р ИСО 14644-1), химические вещества (молекулярные, ионные, газообразные, конденсирующиеся вещества, металлы, характеристика слоев, концентрация по ГОСТ Р ИСО 14644-1);

- факторы отрицательного влияния - вибрация, электромагнитные поля, радиочастотные воздействия, при необходимости;

- характеристики технологического процесса - исходные материалы и энергоносители (вещество или энергия, требуемые для работы каждой единицы оборудования); перечень твердых веществ, используемых в процессе, с указанием чистоты/концентрации, включая их максимальные, минимальные и номинальные значения; для каждой единицы оборудования - перечень всех газов и жидкостей, используемых в процессе; требования к электроснабжению; перечень веществ, которые необходимо удалять; параметры окружающей среды (температура, влажность, вибрация), необходимость физических барьеров, размеры и масса оборудования, последовательность монтажа; эксплуатационные требования; требования технического обслуживания; состояние оборудования до начала процесса; состояние после завершения процесса;

- производительность процесса, принцип организации связи, требования эргономики;