ГОСТ 32974.1-2016
(ISO 21360-1:2012)

МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ

     

Вакуумная технология

     
СТАНДАРТНЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

     
Часть 1

Общие положения

     
Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 1. General description

МКС 23.160

ОКП 36 4800

Дата введения 2018-01-01

Предисловие

Цели, основные принципы и основной порядок проведения работ по межгосударственной стандартизации установлены в ГОСТ 1.0-2015 "Межгосударственная система стандартизации. Основные положения" и ГОСТ 1.2-2015 "Межгосударственная система стандартизации. Стандарты межгосударственные, правила и рекомендации по межгосударственной стандартизации. Правила разработки, принятия, обновления и отмены"

Сведения о стандарте

1 ПОДГОТОВЛЕН Акционерным обществом "Вакууммаш" (АО "Вакууммаш") на основе официального перевода на русский язык англоязычной версии стандарта, указанного в пункте 5

2 ВНЕСЕН Межгосударственным техническим комитетом по стандартизации МТК 249 "Вакуумная техника"

3 ПРИНЯТ Межгосударственным советом по стандартизации, метрологии и сертификации (протокол от 27 июля 2016 г. N 89-П)

За принятие проголосовали:

(Поправка. ИУС N 3-2022).

4 Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 6 июня 2017 г. N 494-ст межгосударственный стандарт ГОСТ 32974.1-2016 (ISO 21360-1:2012) введен в действие в качестве национального стандарта Российской Федерации с 1 января 2018 г.

5 Настоящий стандарт является модифицированным по отношению к международному стандарту ISO 21360-1:2012* "Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения" ("Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 1: General description", MOD).

________________

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей. - Примечание изготовителя базы данных.

При этом потребности национальных экономик стран, указанных выше, и/или особенности межгосударственной стандартизации учтены в дополнительном разделе 6, который выделен путем заключения в рамки из тонких линий, а информация с объяснением причин включения этих положений приведена в указанном пункте в виде примечания.

При применении настоящего стандарта рекомендуется использовать вместо ссылочных международных стандартов соответствующие им межгосударственные стандарты, сведения о которых приведены в дополнительном приложении ДА

6 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном информационном указателе "Национальные стандарты", а текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)

ВНЕСЕНА поправка, опубликованная в ИУС N 3, 2022 год, введенная в действие с 12.10.2021

Поправка внесена изготовителем базы данных

Введение

Настоящий стандарт является базовым по определению методов измерений характеристик вакуумных насосов. Описанные методы хорошо известны по существующим национальным и международным стандартам. При разработке данного стандарта ставилась цель создать единый документ, содержащий метод измерения характеристик вакуумных насосов, и упростить в будущем разработку стандартов на конкретные типы вакуумных насосов.

Стандарты на конкретные типы вакуумных насосов должны содержать приемлемый выбор методов измерения, взятых на основании настоящей части, для определения характеристик, предельных значений, специфических условий работы и особенностей конкретного типа насоса. Если есть различия между настоящей частью стандарта и стандартом на конкретный тип насоса, то основным является стандарт на конкретный насос.

Пользователи настоящего стандарта должны учитывать, что помимо требований, предусмотренных настоящим стандартом, для индивидуальных случаев применения могут потребоваться дополнительные требования. Настоящий стандарт не запрещает поставщику/изготовителю предлагать, а пользователю/заказчику использовать альтернативное оборудование или инженерные решения. Это может в частности быть применимо к инновационным и разрабатываемым технологиям.

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, степени сжатия, измерения базового и наибольшего выпускного давлений.

Метод постоянного потока - это определение быстроты действия при напуске в вакуумный насос постоянного потока газа, при котором измеряется впускное давление. На практике измерение потока газа с достаточной точностью может быть затруднено, по этой причине описаны два других метода, при которых прямое измерение потока газа не используется.

Метод двух манометров - это определение быстроты действия, который используется при небольшой величине потока и малых впускных давлениях (при высоком и сверхвысоком вакууме). Он основан на измерении перепада давлений на диафрагме с круглым отверстием, разделяющей измерительную камеру на две части, в каждой из которых установлен манометрический преобразователь или манометр абсолютного давления.

Метод постоянного объема - это определение быстроты действия подходит для автоматизированного измерения. Он базируется на известной зависимости времени вакуумирования объема от параметров процесса вакуумирования: отношения давлений в начале и конце интервала вакуумирования, величины объема, времени вакуумирования.

Различные воздействия, такие как натекание и десорбция, охлаждение газа почти до изоэнтропического расширения в интервале откачки и увеличение газокинетического сопротивления в линии соединения между измерительной камерой и насосом, вызванные изменением режимов течения газа в соединительных коммуникациях при низких давлениях, влияют на измерение давления и, в результате, на быстроту действия.

При выборе метода определения необходимо учитывать специфику (вакуумного насоса) и технические характеристики: например, измерение наибольшего выпускного давления необходимо только для насоса, который работает с форвакуумным насосом. Измерения характеристик вакуумного насоса, не описанные в настоящей части стандарта (например, измерение потребляемой мощности), определяются стандартом на конкретный тип вакуумного насоса.

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использована ссылка на следующий межгосударственный стандарт. Для датированных ссылок применяют только указанное издание ссылочного документа, для недатированных ссылок применяют последнее издание ссылочного документа (включая все его изменения):

ГОСТ ИСО/МЭК 17025-2009 (ISO/IEC 17025) General requirements for the competence of testing and calibration laboratories (Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий)

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочного стандарта в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты" за текущий год. Если ссылочный стандарт заменен (изменен), то при пользовании настоящим стандартом следует руководствоваться заменяющим (измененным) стандартом. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, применяется в части, не затрагивающей эту ссылку.

     3 Термины и определения

В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:

3.1 быстрота действия (volume flow rate): Скорость объемного потока газа, то есть скорость изменения объема газа в единицу времени

,

где V - объем;

t - время.

Примечания

1. На практике быстрота действия данного насоса, для данного газа, условно равна отношению производительности насоса для данного газа к равновесному давлению в определенном месте. Единицы измерения, принятые для быстроты действия (м/ч) или (л/с).

2. Вместо "быстроты действия" часто используются термин "скорость откачки" и символ "S".

3.2 впускное давление , , (inlet pressure): Давление на входе насоса, измеряемое в определенном месте измерительной камеры.

3.3 базовое давление (base pressure): Давление, полученное в измерительной камере после создания соответствующих условий испытаний в измерительной камере, подсоединенной к вакуумному насосу (см. 5.4).

Примечание - Предельное остаточное давление - величина, к которой асимптотически стремится давление в измерительной камере, без впуска газа и при нормально работающем насосе: самое низкое давление, получаемое насосом; в настоящем стандарте методы измерения не приведены.

3.4 максимальное рабочее давление (maximum working pressure): Максимальное давление на входе в насос, которое может выдержать вакуумный насос при условии непрерывной безаварийной работы.

3.5 выпускное давление (backing pressure): Давление в выходном сечении вакуумного насоса.

3.6 наибольшее выпускное давление (critical backing pressure): Величина наибольшего выпускного давления (приводится в эксплуатационной или нормативной документации на конкретный вакуумный насос).

3.7 степень сжатия (compression ratio): Отношение выпускного давления к впускному давлению вакуумного насоса при нулевой производительности, выраженное отношением

.

3.8 измерительная камера (test dome): Специальная присоединенная к входу насоса и оборудованная средствами для измерения его характеристик вакуумная камера определенной формы и размеров, через которую измеряемый поток газа может поступать в насос.

3.9 производительность Q (throughput): Поток газа во входном сечении насоса, определяемый уравнением

,

где - впускное давление (давление на входе насоса со стороны высокого вакуума);

- быстрота действия;

t - время;

V - объем измерительной камеры.

3.10 стандартная быстрота действия (standard gas flow rate): Быстрота действия при стандартных условиях для газов (0°С и 101325 Па) [1].

     4 Символы и обозначения

а - Внутренний диаметр соединительного трубопровода между испытываемым насосом и быстродействующим клапаном (позиции 3 и 5 на рисунке 6), м;

А - площадь поперечного сечения трубопровода между испытываемым насосом и быстродействующим клапаном (позиции 3 и 5 на рисунке 6), м;

С - проводимость, м/с (10 л/с);

d - диаметр отверстия, м;