ГОСТ 32974.4-2023 (ISO 21360-4:2018) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы (с Поправкой)
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины по ГОСТ 32974.1, а также следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 наибольшее выпускное давление 
(critical backing pressure 
): Максимальное давление 
на выходе, которое вакуумный насос и приводное устройство могут выдержать при непрерывной работе без повреждений или перегрузки, при котором насос имеет степень сжатия 
10, а подача продувочного газа отсутствует.
Примечания
1 
- наибольшее впускное давление на входе. Частота вращения турбомолекулярного вакуумного насоса может быть меньшей в этой рабочей точке. Значение 
зависит от частоты вращения и типа газа. Эти данные должны быть указаны вместе со значением 
.
2 Измерение с продувочным газом дает разные результаты (при перекачке легких газов на входе использование тяжелого продувочного газа будет влиять на значение наибольшего выпускного давления 
). Поэтому поток продувочного газа должен быть равен нулю.
3.2 максимальная производительность 
(мaximum throughput 
): Максимальный поток газа, который может откачиваться продолжительное время без повреждения или выхода из строя насоса.
Примечания
1 Выражается в Па·л/с, мбар·л/с, м
·Па/с, мм рт.ст.·л/с или стандартных см
/мин (sccm).
2 Ограничивающий параметр зависит от конструкции насоса. В большинстве случаев это максимальная температура на определенном участке. Значение 
зависит, например, от перекачиваемого газа, используемого форвакуумного насоса, частоты вращения и условий охлаждения. Если 
выражено в Па·л/с или мбар·л/с, м
·Па/с или мм рт.ст.·л/с, тогда температура измерительной камеры должна быть зафиксирована, поскольку это значение зависит от температуры газа. Это не распространяется на значение 
, указанное в sccm.
3.3 быстрота действия 
(volume flow rate 
):
, (1)
где V - объем;
t - время.