ГОСТ 32974.4-2023 (ISO 21360-4:2018) Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы (с Поправкой)

     1 Область применения

Настоящий стандарт совместно с ГОСТ 32974.1 устанавливает методы измерения характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов, распространяется на все типы и размеры турбомолекулярных вакуумных насосов:

- с механическими или магнитными подшипниками;

- с или без дополнительной(ых) молекулярной(ых) ступени(ей) или других откачных ступеней на валу;

- одним или несколькими впускными отверстиями.

Турбомолекулярные вакуумные насосы поддерживаются форвакуумными насосами, их производительность не может быть полностью определена кривой быстроты действия. Производительность зависит от привода и выпускного давления турбомолекулярного вакуумного насоса.

Характеристики дополняет следующая информация:

- данные о производительности и выпускном давлении турбомолекулярного вакуумного насоса;

- кривая степени сжатия (степень сжатия в зависимости от выпускного давления турбомолекулярного вакуумного насоса).