ГОСТ 8.661-2018 Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм (с Поправкой)

     4 Средства измерений

4.1 В качестве средств измерений применяют интерферометры, бруски контрольные длиной от 150 до 500 мм, пластины плоские стеклянные и пластины плоскопараллельные стеклянные. Диапазон измерений параметров отклонений от плоскостности EFE средств измерений составляет от 0,10 до 2,0 мкм.

4.2 Пределы допускаемой погрешности средств измерений параметров отклонений от плоскостности EFE составляют от 0,04 до 0,12 мкм.