ГОСТ Р 8.863-2013

Группа Т84.10

     

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Государственная система обеспечения единства измерений

Средства измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 10-30 нм

Методика поверки

State system for ensuring the uniformity of measurements. Insruments for measurement power and irradiance in the wavelength range from 10 to 30 nm. Verification procedure

ОКС 17.020

Дата введения 2015-01-01

Предисловие

1 РАЗРАБОТАН Федеральным государственным унитарным предприятием "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ")

2 ВНЕСЕН Техническим комитетот по стандартизации ТК 386 "Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 22 ноября 2013 г. N 2110-ст

4 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

5 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Март 2019 г.

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. N 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)

     1 Область применения

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового (далее - ЭУФ) излучения - радиометры ЭУФ-излучения, используемые для измерений потока излучения (далее - ПИ) и энергетической освещенности (далее - ЭО) в диапазоне длин волн 10-30 нм, и устанавливает методику их поверки.

Радиометры ЭУФ-излучения обеспечивают в диапазоне длин волн 10-30 нм измерения потока излучения в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10 Вт, верхняя - не менее 2·10, Вт и энергетической освещенности в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,01 Вт/м, верхняя - не менее 20 Вт/м.

Межповерочный интервал - один год.

     2 Нормативные ссылки

В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:

ГОСТ 8.552 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм

ГОСТ Р 8.736 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерения прямые многократные. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения

Примечание - При пользовании настоящим стандартом целесообразно проверить действие ссылочных стандартов в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет или по ежегодному информационному указателю "Национальные стандарты", который опубликован по состоянию на 1 января текущего года, и по выпускам ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты" за текущий год. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана недатированная ссылка, то рекомендуется использовать действующую версию этого стандарта с учетом всех внесенных в данную версию изменений. Если заменен ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, то рекомендуется использовать версию этого стандарта с указанным выше годом утверждения (принятия). Если после утверждения настоящего стандарта в ссылочный стандарт, на который дана датированная ссылка, внесено изменение, затрагивающее положение, на которое дана ссылка, то это положение рекомендуется применять без учета данного изменения. Если ссылочный стандарт отменен без замены, то положение, в котором дана ссылка на него, рекомендуется применять в части, не затрагивающей эту ссылку.

     3 Операции поверки

При проведении поверки выполняют операции, указанные в таблице 1.

Таблица 1

     4 Средства поверки

При проведении поверки применяются средства, представленные в таблице 2.

Таблица 2

     5 Требования к квалификации поверителей

Поверку должны проводить лица, аттестованные в качестве поверителей, освоившие работу с радиометрами и используемыми средствами поверки, изучившие настоящую методику и эксплуатационную документацию на средства поверки и радиометры ЭУФ-излучения.

     6 Требования безопасности

При поверке радиометров ЭУФ-излучения соблюдают правила электробезопасности. Измерения должны проводить два оператора, аттестованные по группе электробезопасности не ниже III, прошедшие инструктаж на рабочем месте по безопасности труда при эксплуатации электрических установок.

     7 Условия поверки

При проведении поверки должны быть соблюдены следующие условия:

     8 Подготовка и проведение поверки

8.1 Внешний осмотр

При внешнем осмотре должно быть установлено:

- соответствие комплектности радиометров ЭУФ-излучения паспортным данным;

- отсутствие механических повреждений блоков радиометров ЭУФ-излучения, сохранность соединительных кабелей и сетевых разъемов;

- четкость надписей на панели радиометров ЭУФ-излучения;

- наличие маркировки (тип и заводской номер радиометров ЭУФ-излучения);

- отсутствие сколов, царапин и загрязнений на оптических деталях радиометров ЭУФ-излучения.

8.2 Опробование

При опробовании должно быть установлено:

- наличие показаний радиометра при освещении ЭУФ-излучением;

- правильное функционирование переключателей пределов измерений, режимов работы радиометров.

8.3 Определение метрологических характеристик

8.3.1 Определение погрешности спектральной коррекции чувствительности