Дата введения 2011-04-01
УТВЕРЖДЕНО И ВВЕДЕНО В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12.11.2010 N 470-ст
Наименование стандарта. Исключить слово: "измерительные";
Наименование стандарта на английском языке. Исключить слово: "measuring".
Предисловие. Сведения о стандарте. Пункт 1 дополнить словами: "Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)";
последний абзац. После слов "на официальном сайте" исключить слово: "национального".
Раздел 1. Первый абзац. Исключить слово: "измерительные";
второй абзац исключить.
Раздел 2. В наименовании стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 ссылку на ГОСТ Р ИСО 14644-1 дополнить знаком сноски - *;
дополнить сноской: "* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002".
Пункт 3.2. Термин изложить в новой редакции: "рельеф поверхности (твердого тела)".
Пункт 3.3. Термин изложить в новой редакции: "элемент рельефа (поверхности)".
Пункт 3.4 исключить.
Пункт 3.10. Определение. Заменить слово: "микроскопа" на "РЭМ".
Пункт 3.12. Термин изложить в новой редакции: "масштабный коэффициент (видеоизображения РЭМ)".
Пункт 3.17. Термин изложить в новой редакции: "электронным зонд (РЭМ)"
Пункт 3.20. Термин изложить в новой редакции: "сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта)".