ИЗМЕНЕНИЕ N 1
ГОСТ Р 8.631-2007 "Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки"

     

Дата введения 2011-04-01

УТВЕРЖДЕНО И ВВЕДЕНО В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12.11.2010 N 470-ст

Наименование стандарта. Исключить слово: "измерительные";

Наименование стандарта на английском языке. Исключить слово: "measuring".

Предисловие. Сведения о стандарте. Пункт 1 дополнить словами: "Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)";

последний абзац. После слов "на официальном сайте" исключить слово: "национального".

Раздел 1. Первый абзац. Исключить слово: "измерительные";

второй абзац исключить.

Раздел 2. В наименовании стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 ссылку на ГОСТ Р ИСО 14644-1 дополнить знаком сноски - *;

дополнить сноской: "* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002".

Пункт 3.2. Термин изложить в новой редакции: "рельеф поверхности (твердого тела)".

Пункт 3.3. Термин изложить в новой редакции: "элемент рельефа (поверхности)".

Пункт 3.4 исключить.

Пункт 3.10. Определение. Заменить слово: "микроскопа" на "РЭМ".

Пункт 3.12. Термин изложить в новой редакции: "масштабный коэффициент (видеоизображения РЭМ)".

Пункт 3.17. Термин изложить в новой редакции: "электронным зонд (РЭМ)"

Пункт 3.20. Термин изложить в новой редакции: "сканирование (РЭМ элемента исследуемого объекта)".

Пункт 3.21. Заменить значение: 5 эВ на 50 эВ.

Пункт 3.22. Определение. Заменить слово: "характеризующей" на "характеризующее".

Пункт 4.1. Таблица 1. Исключить графу: "Обязательность проведения операции при поверке";

примечание к таблице 1 исключить.

Раздел 5 изложить в новой редакции:

"5 Требования к квалификации поверителей

Поверку РЭМ должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право поверки средств измерений.

Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы с РЭМ и знать требования настоящего стандарта".

Раздел 6 дополнить абзацем:

"Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства".

Пункт 7.1. Заменить значения: 220 В на (220±22) В, 50 Гц на (50,0±0,4) Гц.

Пункт 7.3. Первый абзац. Заменить слова: "включает в себя выполнение следующих работ" на "проводят следующим образом";

второй абзац после слов "боковой грани" дополнить словом: "выступа";

последний абзац. Заменить слова: "и осушенного" на "сухого".

Пункт 8.1. После слов "При внешнем осмотре" дополнить словом: "РЭМ".

Пункт 8.2.4. Заменить слова: "РЭМ и при этом на каждом этапе производят" на "РЭМ, при этом на каждом этапе проводят", "монитора микроскопа" на "РЭМ", "Схема наблюдаемых в режиме регистрации МВЭ видеопрофилей" на "Схематическое изображение наблюдаемого в режиме регистрации МВЭ видеопрофиля";

примечание дополнить словами: "При этом значения проекций наклонных стенок выступа , и , измеренных по видеопрофилю, должны быть не менее 200 пикселей".

Раздел 8 дополнить пунктом - 8.2.4а (после пункта 8.2.4):

"8.2.4а После завершения операции настройки по 8.2.4 определяют значение в пикселях общей длины видеопрофиля в направлении сканирования. Это значение общей длины видеопрофиля, а также установленное при этом значение электронно-оптического увеличения РЭМ указывают в протоколе поверки".

Пункт 8.4 дополнить словами и абзацем:

"В протокол также записывают значения общей длины видеопрофиля и электронно-оптического увеличения РЭМ, определенных по 8.2.4а.

Протокол с результатами измерений должен храниться как минимум до следующей поверки РЭМ".

Раздел 9 дополнить пунктом - 9.5:

"9.5 Погрешность измерений

Погрешности измерений метрологических характеристик микроскопа, вычисленных по 9.3 и 9.4, составляют:

- для масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ относительная погрешность измерения - не более ±1,0%,

- для эффективного диаметра электронного зонда РЭМ абсолютные погрешности измерений в зависимости от значений приведены в таблице 2.

Таблица 2 - Абсолютные погрешности измерений

Пункт 10.1 изложить в новой редакции:

"10.1 Результаты поверки оформляют и виде свидетельства установленной формы, внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) на РЭМ и оттиском поверительного клейма, наносимого на РЭМ".

Пункт 10.2 дополнить словами: "с погрешностями их измерений по 9.5, а также значения общей длины видеопрофиля и электронно-оптического увеличения РЭМ, определенные по 8.2.4а".

Библиография. Исключить позиции [1], [6] и [7].

Библиографические данные. Ключевые слова. Исключить слово: "измерительные".

Электронный текст документа

подготовлен ЗАО "Кодекс" и сверен по:

официальное издание

ИУС N 2, 2011