Дата введения 2011-04-01
УТВЕРЖДЕНО И ВВЕДЕНО В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12.11.2010 N 468-ст
Предисловие. Сведения о стандарте. Пункт 1 дополнить словами: "Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)";
последний абзац. После слов "на официальном сайте" исключить слово: "национального".
Раздел 1. Первый абзац. Заменить слова: "при измерении" на "для измерения";
третий абзац исключить.
Раздел 2. В наименовании стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 ссылку на ГОСТ Р ИСО 14644-1 дополнить знаком сноски - *;
дополнить сноской: "* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002".
Пункт 3.1. Термин изложить в новой редакции: "рельеф поверхности (твердого тела)".
Пункт 3.2. Термин изложить в новой редакции: "элемент рельефа (поверхности)".
Пункт 3.5. Термин изложить в новой редакции: "мера (физической) величины".
Пункт 3.8. Термин изложить в новой редакции: "рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов)".
Пункт 3.10. Термин изложить в новой редакции: "сканирование (элемента исследуемого объекта)".
Пункт 3.12. Термин изложить в новой редакции: "видеопрофиль (информационного сигнала)".
Пункт 3.13. Термин изложить в новой редакции: "масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа)".
Пункт 3.14. Определение после слов "в процессе сканирования" изложить в новой редакции: "перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении".
Пункт 4.1. Таблица 1. Головка таблицы. Заменить слово: "пункта" на "подраздела";
графа "Наименование средства поверки и его основные технические и метрологические характеристики". Исключить слова: "входящий в комплект поставки сканирующего зондового атомно-силового микроскопа" (2 раза), "входящий в комплект поставки атомно-силового микроскопа";
после слов: "с относительной погрешностью не более 3·10" дополнить знаком: % (2 раза);
для операции "Определение метрологических характеристик" заменить слово: "сканировании" на "сканирования";
графу "Обязательность проведения операции при поверке" исключить;
примечание к таблице 1 исключить.
Раздел 5 изложить в новой редакции:
"5 Требования к квалификации поверителей
Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.
Сотрудники должны иметь высшее образование, профессиональную подготовку, опыт работы со сканирующими зондовыми атомно-силовыми микроскопами (далее - АСМ) и двухлучевыми лазерными гетеродинными интерферометрами и знать требования настоящего стандарта".
Раздел 6 дополнить абзацем:
"Рабочие места поверителей должны быть аттестованы по условиям труда в соответствии с требованиями трудового законодательства".
Пункт 7.1. Заменить значения: 220 В на (220±22) В, 50
Гц на (50,0±0,4) Гц.
Пункт 7.2. Заменить слова: "размещения средств измерений для поверки рельефных мер" на "в котором размещают средства измерений для поверки рельефных мер".
Пункт 8.1.2. Исключить слова: "При этом должно быть обеспечено плотное прилегание нижней плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола АСМ";
дополнить абзацем:
"При установке рельефной меры необходимо обеспечить:
- плотное прилегание плоскости подложки меры к поверхности рабочего стола АСМ;
- параллельность плоскости, образованной верхним основанием выступа поверяемого элемента рельефной меры, направлению горизонтального перемещения зонда (или рабочего стола) АСМ, а также ортогональностью такого перемещения к линии пересечения верхнего основания выступа с его наклонной стенкой".
Пункт 8.1.3. После слов "Шаговая структура" заменить слово: "поверхности" на "на поверхности рельефной".
Пункт 8.2.2. Последний абзац. Заменить слово: "Взаимное" на "Такое взаимное".
Пункт 8.2.3. Первый абзац после слов "При этом" дополнить словом: "предварительно";
второй абзац после слов "по эксплуатации" дополнить словом: "применяемых";
третий абзац изложить в новой редакции, дополнить абзацами:
"- путем изменения угла наклона исследуемого объекта обеспечивают взаимную параллельность направления прохождения информативного луча вертикального лазерного интерферометра и направления вертикального перемещения Z-сканера АСМ при сканировании элемента рельефа;
- в соответствии с инструкциями по эксплуатации применяемых АСМ и лазерных интерферометров определяют частоту и скорость сканирования поверяемого элемента, при которых в электронно-фазометрических системах интерферометров можно четко регистрировать количество целых и дробных полос интерференции, соответствующих значениям фазовых сдвигов между опорными и информативными лучами горизонтального и вертикального интерферометров;
- устанавливают показания электронно-фазометрических систем применяемых лазерных интерферометров в "нулевое" положение, определяемое нестабильностью младшего разряда используемых аналого-цифровых преобразователей в указанных электронно-фазометрических системах".
Пункт 8.3.1 изложить в новой редакции:
"8.3.1 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1".
Пункт 8.3.2. Первый абзац после слов "по эксплуатации" дополнить словом: "применяемых"; после слова "сканирование" дополнить словом: "выступа".
Пункты 8.3.3-8.3.5 изложить в новой редакции:
"8.3.3 По показаниям электронно-фазометрической системы горизонтального лазерного интерферометра определяют значение горизонтального фазового сдвига в радианах между информативным и опорным лучами этот интерферометра.
8.3.4 По показаниям электронно-фазометрической системы вертикального лазерного интерферометра определяют значение вертикального фазового сдвига в радианах между информативным и опорным лучами этого интерферометра.
8.3.5 Проводят измерение параметров окружающей среды и показателей качества питающей электрической сети и проверяют выполнение требований, указанных в 7.1".
Пункт 8.4. Заменить слова: по "8.3.2 и 8.3.3" на по "8.3.2-8.3.4";
второй абзац дополнить словами: "Протокол с результатами поверки должен храниться как минимум до следующей поверки рельефной меры".
Пункт 9.1 исключить.
Пункт 9.2. Заголовок и первый абзац после слова "элемента" дополнить словом "рельефа";
пояснение для параметра . Заменить слова: "вычисленный по 9.1" на "измеренный по 8.3.3".
Пункт 9.4 исключить.
Пункт 9.5. Пояснение для параметра . Заменить слова: "вычисленный по 9.4" на "измеренный по 8.3.4".
Пункт 9.6 исключить.
Пункт 9.7 изложить в новой редакции:
"9.7 Вычисление высоты выступа поверяемого элемента рельефа
Значение высоты выступа в нанометрах равно значению вертикального перемещения
-сканера
, вычисленному по 9.5".
Пункт 9.10. Формулу изложить в новой редакции:
"
".
Пункт 9.11. Формулу изложить в новой редакции:
"
".
Пункт 9.12 изложить в новой редакции:
"9.12 Погрешность измерений
При соблюдении условий проведения измерений и использовании средств поверки с метрологическими характеристиками не хуже указанных в 4.1 абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров поверяемого элемента рельефной меры приведены в таблице 2.
Таблица 2 - Абсолютные погрешности измерений значений линейных размеров ,
,
и
Наименование и обозначение линейного размера поверяемого элемента рельефной меры | Абсолютная погрешность измерений, нм, не более |
Ширина верхнего основания трапецеидального выступа, | ±0,8 |
Ширина нижнего основания трапецеидального выступа, | ±1,4 |
Высота трапецеидального выступа, | ±0,3 |
Проекция наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа, | ±0,3 |
Пункты 10.1, 10.2 изложить в новой редакции:
"10.1 Результаты поверки оформляют в виде свидетельства установленной формы и внесением соответствующей записи в паспорт (формуляр) рельефной меры.
10.2 На лицевой стороне свидетельства о поверке наносят знак поверки (поверительное клеймо), а также указывают даты выдачи и окончания срока действия свидетельства. На оборотной стороне свидетельства о поверке и в паспорте (формуляре) рельефной меры должны быть приведены значения высоты выступа, ширины верхнего и нижнего его оснований, а также значение проекции наклонной стенки на плоскость нижнего основания выступа поверяемого элемента. Для перечисленных метрологических характеристик рельефной меры необходимо также указать абсолютные погрешности их измерений, приведенные в подразделе 9.12 настоящего стандарта".
Приложение А. Пункт А.3. Пояснение для параметров ,
. Заменить слова: "по 6.2 и 6.5" на "по 9.2 и 9.5".
Библиография. Исключить позиции [2] и [7].
Электронный текст документа
подготовлен ЗАО "Кодекс" и сверен по:
официальное издание
ИУС N 2, 2011
Попробуйте «Техэксперт: Лаборатория. Инспекция. Сертификация» бесплатно