Дата введения 2011-04-01
УТВЕРЖДЕНО И ВВЕДЕНО В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 12.11.2010 N 468-ст
Предисловие. Сведения о стандарте. Пункт 1 дополнить словами: "Федеральное государственное учреждение Российский научный центр "Курчатовский институт", Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)";
последний абзац. После слов "на официальном сайте" исключить слово: "национального".
Раздел 1. Первый абзац. Заменить слова: "при измерении" на "для измерения";
третий абзац исключить.
Раздел 2. В наименовании стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001 ссылку на ГОСТ Р ИСО 14644-1 дополнить знаком сноски - *;
дополнить сноской: "* ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000 отменен; с 01.04.2004 действует ГОСТ ИСО 14644-1-2002".
Пункт 3.1. Термин изложить в новой редакции: "рельеф поверхности (твердого тела)".
Пункт 3.2. Термин изложить в новой редакции: "элемент рельефа (поверхности)".
Пункт 3.5. Термин изложить в новой редакции: "мера (физической) величины".
Пункт 3.8. Термин изложить в новой редакции: "рельефная мера (нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов)".
Пункт 3.10. Термин изложить в новой редакции: "сканирование (элемента исследуемого объекта)".
Пункт 3.12. Термин изложить в новой редакции: "видеопрофиль (информационного сигнала)".
Пункт 3.13. Термин изложить в новой редакции: "масштабный коэффициент (видеоизображения микроскопа)".
Пункт 3.14. Определение после слов "в процессе сканирования" изложить в новой редакции: "перемещать зонд над поверхностью исследуемого объекта (или перемещать исследуемый объект под зондом) в вертикальном направлении".
Пункт 4.1. Таблица 1. Головка таблицы. Заменить слово: "пункта" на "подраздела";
графа "Наименование средства поверки и его основные технические и метрологические характеристики". Исключить слова: "входящий в комплект поставки сканирующего зондового атомно-силового микроскопа" (2 раза), "входящий в комплект поставки атомно-силового микроскопа";
после слов: "с относительной погрешностью не более 3·10" дополнить знаком: % (2 раза);
для операции "Определение метрологических характеристик" заменить слово: "сканировании" на "сканирования";
графу "Обязательность проведения операции при поверке" исключить;
примечание к таблице 1 исключить.
Раздел 5 изложить в новой редакции:
"5 Требования к квалификации поверителей
Поверку рельефных мер должны проводить штатные сотрудники метрологической службы предприятия, аккредитованной в установленном порядке на право проведения поверки средств измерений.