ГОСТ Р ИСО 21501-4-2012

Группа Т58

НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

ПОЛУЧЕНИЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЧАСТИЦ ПО РАЗМЕРАМ. ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ ОЦЕНКИ ОТДЕЛЬНЫХ ЧАСТИЦ

Часть 4

Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света

Determination of particle size distribution. Single particle light interaction methods. Part 4. Light scattering airborne particle counter for clean spaces

ОКС 19.120*

_____________________

* По данным официального сайта Росстандарта ОКС 91.140.30,

здесь и далее. - Примечание изготовителя базы данных.

Дата введения 2013-12-01

Предисловие

1 ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией "Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений" (АСИНКОМ) на основе собственного перевода на русский язык англоязычной версии стандарта, указанного в пункте 4

2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК 184 "Обеспечение промышленной чистоты"

3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 8 ноября 2012 г. N 696-ст

4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИСО 21501-4:2007* "Получение распределения частиц по размерам. Оптические методы оценки отдельных частиц. Часть 4. Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света" (ISO 21501-4:2007 "Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 4: Light scattering airborne particle counter for clean spaces", IDT)

________________

* Доступ к международным и зарубежным документам, упомянутым в тексте, можно получить, обратившись в Службу поддержки пользователей. - Примечание изготовителя базы данных.

5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

6 ПЕРЕИЗДАНИЕ. Апрель 2019 г.

Правила применения настоящего стандарта установлены в статье 26 Федерального закона от 29 июня 2015 г. N 162-ФЗ "О стандартизации в Российской Федерации". Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется в ежегодном (по состоянию на 1 января текущего года) информационном указателе "Национальные стандарты", а официальный текст изменений и поправок - в ежемесячном информационном указателе "Национальные стандарты". В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ближайшем выпуске ежемесячного информационного указателя "Национальные стандарты". Соответствующая информация, уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования - на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет (www.gost.ru)

Введение

Во многих областях, например в фармацевтической и электронной промышленности, производстве прецизионных устройств и в больницах, необходим контроль чистоты воздуха. С этой целью используют счетчики частиц. Настоящий стандарт устанавливает метод калибровки и проверки работоспособности счетчиков частиц, которые позволяют свести к минимуму ошибки в определении числа частиц и различия в результатах счета несколькими счетчиками.

Комплекс международных стандартов ИСО 21501 "Получение распределения частиц по размерам. Оптические методы оценки отдельных частиц" состоит из следующих частей:

- часть 1. Спектрометры аэрозолей, работающие на принципе рассеяния света;

- часть 2. Счетчики частиц в жидкостях, работающие на принципе рассеяния света;

- часть 3. Счетчики частиц в жидкостях, работающие на принципе ослабления света;

- часть 4. Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света.

     1 Область применения

Настоящий стандарт устанавливает требования к калибровке и проверке работоспособности счетчиков частиц в воздухе, работающих по принципу рассеяния света, которые используют для счетной концентрации взвешенных в воздухе частиц в зависимости от их размеров. Метод основан на рассеянии света отдельной частицей. Типовой диапазон значений частиц для оценки по данному методу находится в пределах от 0,1 до 10 мкм.

Счетчики, на которые распространяется настоящий стандарт, используют для классификации чистоты воздуха в чистых помещениях по ИСО 14644-1, а также для оценки числа частиц и их распределения по размерам в других областях.

Настоящий стандарт устанавливает требования к:

- калибровке по размерам частиц;

- проверке установки размеров;

- эффективности счета;

- разрешающей способности по размерам;

- определению ложного счета;

- максимально допустимой концентрации частиц;

- скорости отбора проб;

- времени отбора проб;

- объему пробы;

- периодичности калибровки;

- протоколу калибровки.

     2 Термины и определения

В настоящем стандарте применены термины по ЕН 14799:2007, а также следующие термины с соответствующими определениями:

2.1 частицы для калибровки (calibration particles): Монодисперсные сферические частицы с известным средним размером, например частица полиуретанового латекса (PSL), прослеживаемые до международного стандарта по размеру, где стандартное отклонение среднего размера частиц не превышает ±2,5%.

Примечание - Индекс рефракции частиц для калибровки близок к 1,59 при длине волны 589 нм (D-линия натрия).

2.2 эффективность счета (counting efficiency): Отношение полученного результата счетчиком частиц, работающим по принципу рассеяния света, к результату, полученному эталонным счетчиком для той же пробы.

2.3 счетчик частиц (particle counter): Прибор, который считает число частиц и оценивает их размеры с использованием принципа рассеяния света или ослабления света.

2.4 анализатор высоты импульса (pulse height analyser): Прибор, анализирующий распределение высоты импульса.

2.5 разрешающая способность по размерам (size resolution): Способность прибора различать частицы различных размеров.

     3 Основные требования

     3.1 Калибровка по размерам

Рекомендуемый способ калибровки приведен в 4.1.

     3.2 Проверка установки размеров

Ошибка в оценке минимального размера частиц и других указанных изготовителем счетчика размеров не должна превышать ±10% при выполнении контроля по 4.2.

     3.3 Эффективность счета

Эффективность счета должна составлять (50±20)% по частицам для калибровки с размерами, близкими к минимальному обнаруживаемому размеру (порогу чувствительности), и должна составлять (100±10)% по частицам для калибровки с размерами, большими в 1,5-2 раза порога чувствительности.

     3.4 Разрешающая способность по размерам

Разрешающая способность по размерам не должна превышать 15% для частиц для калибровки с размером, заданным изготовителем.

     3.5 Ложный счет

Ложный счет определяют по счетной концентрации частиц в 1 м для минимального размера при отборе проб чистого воздуха.

     3.6 Максимально допустимая концентрация частиц

Максимально допустимая концентрация частиц должна быть задана изготовителем счетчика. Как правило, ошибка совпадения при максимально допустимой концентрации частиц не должна превышать 10%.

Примечание - При превышении концентрации частиц максимально допустимого значения увеличивается число пропущенных (неподсчитанных) частиц из-за увеличения вероятности нахождения нескольких частиц в луче света (ошибка совпадения) и/или перегруженности электронной системы регистрации.

     3.7 Скорость отбора пробы

Стандартное отклонение скорости отбора пробы не должно превышать 5%.

Данный пункт распространяется на счетчики частиц, не имеющие функции контроля скорости отбора пробы, но изготовитель должен указать номинальное значение этой скорости.

     3.8 Время отбора пробы

Стандартное отклонение времени отбора пробы не должно превышать ±1% установленного значения.

Данный пункт не распространяется на счетчики частиц, не имеющие функции контроля времени отбора пробы.

     3.9 Остаточный счет

Остаточный счет счетчиком частиц по 4.9 не должен быть более 0,5%.

     3.10 Периодичность калибровки

Рекомендуется калибровать счетчик частиц не реже одного раза в год.

     3.11 Протокол испытаний

Протокол испытаний должен содержать как минимум следующие данные:

a) дату калибровки;

b) размеры частиц, для которых выполнена калибровка;

c) скорость отбора пробы;

d) разрешающую способность по размерам частиц, для которых выполнена калибровка;

e) эффективность счета;

f) ограничение на ложный счет;

g) предельное значение напряжения или канал анализатора высоты импульсов.

     4 Методика испытаний

     4.1 Калибровка по размерам частиц

При калибровке счетчика частицами с известными размерами медианы кривой напряжения (или внутренний канал анализатора высоты импульсов - АВИ) соответствует размеру частицы (см. рисунок 1). Медиану кривой напряжения (или внутренний канал АВИ) следует определять с использованием счетчика частиц с изменяемой установкой пределов напряжения (или внутреннего канала АВИ). Медиана кривой напряжения (или внутренний канал АВИ) представляет собой напряжение (или внутренний канал АВИ), которое делит пополам общее число сосчитанных импульсов. При отсутствии счетчика частиц с изменяемой установкой пределов напряжения вместо него может быть использован АВИ.

- высота импульса напряжения (или канал); - плотность распределения; 1 - распределение высоты импульсов (для частиц PSL); - нижний предел напряжения; - медиана напряжения; - верхний предел напряжения