Об утверждении Единого тарифно-квалификационного справочника работ и профессий рабочих, выпуск 20, разделы: "Общие профессии производства изделий электронной техники","Полупроводниковое производство", "Производство радиодеталей","Электровакуумное производство", "Пьезотехническое производство" (с изменениями на 12 сентября 2001 года)
§ 40. Фотограф прецизионной фотолитографии
4-й разряд
Характеристика работ. Изготовление эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности на различном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналов средней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов двухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью 50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин или фоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Выбор и настройка установки и оптики для получения несложных фотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопов. Подбор проявителей и травителей для хромированных стекло-пластин.
Должен знать: устройство применяемого оборудования и методы настройки оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработке фотоматериалов (эмульсии, резисты); свойства химикатов и их роль в процессе фотообработки; свойства, характеристики фотоматериалов (светочувствительность, зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения, фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие понятия по корректировке режимов; принцип работы с микроскопами.
Примеры работ
1. Двухсторонние оригиналы - настройка фотоаппарата на размер, фотографирование.
2. Изделия СИС, СВЧ (средние интегральные схемы и изделия сверхвысокочастотные):
- проведение экспресс-контроля фотошаблонных заготовок (ФШЗ);
- изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала;
- подготовка металлизированного промежуточного оригинала к мультипликации;
- изготовление металлизированных эталонных фотошаблонов;
- исправление дефектных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на ретушере.
3. Пленочный мультиплицированный фотошаблон - изготовление.