Действующий

Об утверждении Единого тарифно-квалификационного справочника работ и профессий рабочих, выпуск 20, разделы: "Общие профессии производства изделий электронной техники","Полупроводниковое производство", "Производство радиодеталей","Электровакуумное производство", "Пьезотехническое производство" (с изменениями на 12 сентября 2001 года)

§ 7. Аппаратчик по получению высокочистых
материалов для полупроводникового производства

3-5 разряды


Характеристика работ. Ведение процессов очистки водорода от примесей и его осушки, получения заготовок из синтетической двуокиси кремния методом высокотемпературного гидролиза, термообработки заготовок (остекловывания), раздувки или обжига при изготовлении изделий и аппаратов требуемых геометрических размеров, доводка их вручную. Проверка герметичности коммуникаций. Продувка системы азотом. Подача очищенного водорода к печам восстановления. Обслуживание пульта управления очистки и вакуумных насосов. Контроль за температурой на адсорберах блока очистки водорода. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья, полуфабрикатов, реактивов и их дозирование. Регулирование температуры процесса, вакуума, подачи воды, газа. Приготовление растворов кислот и щелочей заданной концентрации. Предупреждение и устранение причин отклонений от норм технологического режима. Подготовка, пуск, наладка и обслуживание печей, аппаратов, механизмов, электроустановок, контрольно- измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Ведение записи показателей работы обслуживаемого оборудования, хода технологического процесса. Постоянное поддержание технологической чистоты оборудования и рабочего места. Выявление и устранение неисправностей в работе оборудования и коммуникаций. Участие в ремонте механической части оборудования.

Должен знать: устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики, сигнализации и сосудов, работающих под давлением; физико-химические и технологические свойства применяемых сырья, полуфабрикатов, реактивов, газов, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; нормы расхода сырья на единицу готовой продукции; физико-химические основы технологического процесса; технологическую схему производства; способы устранения неисправностей в работе, предупреждения брака и производственных потерь; основы физики, химии, электротехники и электроники.

При выполнении работ по термической обработке заготовок (остекловыванию) и выполнении вспомогательных работ по очистке и осушке водорода

- 3-й разряд.


При ведении процесса высокотемпературного гидролиза, раздувки и обжига при изготовлении изделий из синтетической двуокиси кремния; очистки и осушки водорода под руководством аппаратчика более высокой квалификации

- 4-й разряд.


При ведении процесса высокотемпературного гидролиза; раздувки или обжига при изготовлении изделий из синтетической двуокиси кремния, очистки и осушки водорода, наладки технологии и технологического оборудования

- 5-й разряд.