3-5-разряды
Характеристика работ. Ведение процессов восстановления полупроводниковых материалов (хлориды кремния, германия, моносилана и др.) в электрических печах с заданными электрофизическими, фотоэлектрическими и оптическими свойствами, геометрическими размерами, а также конденсации продуктов реакции из парогазовой смеси. Дозированное легирование в процессе восстановления. Наблюдение за режимами процессов и их регулирование. Регулирование температуры процесса согласно режимной карте, скорости подачи исходных компонентов и газа-восстановителя силы тока и напряжения, давления и разрежения в системе, расхода газа и охлаждаемой воды. Наладка и обслуживание печей, вакуумной аппаратуры, установок тонкой очистки водорода, установок конденсации продуктов реакции, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья и полуфабрикатов. Подготовка лигатуры, графитовой и другой оснастки. Отбор проб. Продувка реактора нейтральным газом. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования. Монтаж и демонтаж печей. Снятие реактора и переноска его к месту демонтажа. Проверка герметичности печей. Зарядка и наладка аппаратуры. Мойка реактора. Чистка печей, воздуховодов, конденсаторов от побочных продуктов реакции. Ведение записей показателей работы печи, хода технологического процесса. Вскрытие печей после процесса и выгрузка готовой продукции. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Дегазация оборудования и помещений при загрязнении их токсичными веществами.
Должен знать: технологическую схему производства; режимы и методы восстановления полупроводниковых материалов; устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно-измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации; физико-химические свойства сырья, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; основы легирования и правила расчета лигатуры; режимные карты и рабочие инструкции; основы электротехники, вакуумной техники, физики, химии, электроники, кристаллографии; основы технологических процессов; правила выявления и устранения неисправностей в работе обслуживаемого оборудования; системы технологических и энергетических коммуникаций.
При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов под руководством аппаратчика более высокой квалификации
- 3-й разряд.
При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с корректировкой процесса; при подготовке и обработке оснастки
- 4-й разряд.
При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с отработкой технологии по заданным свойствам, наладке технологии и технологического оборудования
- 5-й разряд.
Требуется среднее профессиональное образование.