Об утверждении Единого тарифно-квалификационного справочника работ и профессий рабочих, выпуск 20, разделы: "Общие профессии производства изделий электронной техники","Полупроводниковое производство", "Производство радиодеталей","Электровакуумное производство", "Пьезотехническое производство" (с изменениями на 12 сентября 2001 года)

§ 13. Оператор вакуумно-напылительных процессов

     
6-й разряд

Характеристика работ. Напыление металлических, резистивных и диэлектрических пленок на установках различных типов. Самостоятельный выбор способа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление, осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и т.д.). Отработка режимов напыления.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур; методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса; правила определения режимов получения пленочных микроструктур; методы контроля параметров пленок; физику процесса получения пленочных микроструктур различными способами.

Требуется среднее профессиональное образование.

     Примеры работ

1. Микросхемы пленочные, полупроводниковые приборы - изготовление опытных образцов на установках различных типов с двухслойной или многослойной металлизацией.

2. Пластины кремния различных типов - сплавление с одновременным нанесением алюминия.

3. Пластины со структурами - многослойное напыление на установках различных типов.

4. Покрытия оптические - просветление трехслойное двухстороннее.

5. Фильтры интерференционные - нанесение двух двенадцатислойных зеркал с промежуточным слоем .