ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ПАРАМЕТРОВ ОТКЛОНЕНИЙ ОТ ПЛОСКОСТНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 25 ноября 2019 г. N 2819

     1. Область применения

1.1. Настоящая государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей от государственного первичного специального эталона (далее по тексту - ГПСЭ) единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей (ГЭТ 183-2019) средствам измерений при помощи рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи.

1.2. Допускается проводить передачу единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей с использованием эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

1.3. Графическая часть государственной поверочной схемы для средств измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей представлена в Приложении А.

     2. Государственный первичный специальный эталон

2.1. ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности PV (EFE) оптических поверхностей размером от 50 до 280 мм и передачи единицы длины при помощи рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.

2.2. ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

автоматизированная установка на базе интерферометра Физо с реализованным методом фазовых шагов;

меры отклонений от плоскостности диаметрами 100, 200 и 280 мм.

2.3. Диапазон значений единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей, воспроизводимой эталоном, составляет от 0,002 до 2,00 мкм.

2.4. ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений параметров отклонений от плоскостности оптических поверхностей:

а) для оптических поверхностей размером от 50 до 100 мм вкл.:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,8 нм при 30 независимых измерениях, неисключенной систематической погрешностью , не превышающей 1,7 нм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу A, 0,8 нм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу B, 0,9 нм,

суммарная стандартная неопределенность, 1,2 нм,

расширенная неопределенность при k=2, U=2,4 нм,

б) для оптических поверхностей размером св. 100 до 200 мм вкл.:

со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 1,4 нм при 30 независимых измерениях, неисключенной систематической погрешностью , не превышающей 2,4 нм,

стандартная неопределенность, оцененная по типу A, 1,4 нм,