ИТС 33-2017 Производство специальных неорганических химикатов
4.4.1 Выбросы в атмосферу при производстве трихлорсилана и тетрахлорсилана
Выбросы в атмосферу при производстве три- и тетрахлорсилана приведены в таблице 4.6.
Таблица 4.6 - Выбросы в атмосферу при производстве три- и тетрахлорсилана
Источники выброса | Наименование | Метод очистки, повторного использования | Объем и (или) масса выбросов загрязняющих веществ после очистки в расчете на тонну 1 т продукции, кг/т | ||
Минимальное | Максимальное | Среднее | |||
Атмосферные трубы, вентиляционные шахты | Взвешенные вещества | Рукавный фильтр, уловленный кремний возвращается в производство | 0,0214 | 0,0237 | 0,02255 |
Тетрахлорсилан | - | - | 1,370345 | - | |
Трихлорсилан | - | - | 0,561236 | - | |
Хлористый водород | Абсорберы | 0,3793 | 2,9392 | 1,6592 | |