ИТС 33-2017 Производство специальных неорганических химикатов
4.1 Общая информация
Трихлорсилан (силан треххлористый, силикохлороформ, химическая формула 
) и тетрахлорсилан (четыреххлористый кремний, силиконхлорид, химическая формула ) выпускаются промышленностью в виде бесцветной или желтого цвета жидкости.
Согласно [9] и [10] продукция должна иметь следующие технические характеристики (см. таблицу 4.1).
Таблица 4.1 - Показатели товарных трихлорсилана и тетрахлорсилана [9], [10]
Наименование показателя | Трихлорсилан | Тетрахлорсилан | ||
Марка А | Марка Б | Марка В | ||
Массовая доля трихлорсилана, % | Не менее | Не более | ||
99,5 | 98 | 80 | 0,1 | |
Массовая доля тетрахлорида кремния, % | Не более | Не менее | ||
0,25 | 2 | 20 | 99,5 | |
Массовая доля дихлорсилана, %, не более | 0,05 | 0,3 | 0,3 | Отсутствует |
Суммарная массовая доля примесей, %, не более в том числе: | - | - | - | 0,5 |
- трихлорсилана, %, не более | 0,1 | |||
- бензола, %, не более | 0,2 | |||
- неидентифицированных примесей, %, не более | 0,2 | |||
Содержание железа, не более | 1,0 мг/кг | - | - | 0,001 мас.% |
Трихлорсилан применяется в следующих производствах:
- марка А - производство силанов;
- марка Б - производство кремнийорганических продуктов;
- марка В - производство фенилтрихлорсилана, используемого для получения термостойких и электроизоляционных лаков, смол, гидрофобизирующих жидкостей, масел и т.д.
Трихлорсилан используется также для получения кремния полупроводниковой степени чистоты.
Тетрахлорсилан используется для получения эфиров ортокремниевой кислоты и других кремнийорганических соединений, высокодисперсного диоксида кремния (аэросила), а также для получения кремния полупроводниковой степени чистоты.
Три- и тетрахлорсилан производят гидрохлорированием кристаллического кремния в реакторе с псевдоожиженным слоем. Оба процесса имеют общую головную стадию получения смеси трихлорсилан-тетрахлорсилан, из которой далее выделяют SiH Si
.