ИТС 33-2017 Производство специальных неорганических химикатов

     4.5 Перспективные направления в технологии трихлорсилана и четыреххлористого кремния

Среди перспективных возможно рассмотрение следующих направлений:

- получение четыреххлористого кремния взаимодействием кремния с хлористым водородом при нагревании в присутствии катализатора на основе хлористого цинка, нанесенного на оксид алюминия [11];

- хлорирование аморфного диоксида кремния в расплавленной среде хлоридов калия и натрия в присутствии углерода с дальнейшей очисткой жидкого четыреххлористого кремния от примесей [12].