Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов

     3. Государственный первичный эталон

3.1 ГПЭ единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2017 предназначен для воспроизведения, хранения единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси , пространственного распределения эллипсометрических углов и и передачи единиц эллипсометрических углов при помощи рабочих эталонов 1-го разряда средствам измерений.

3.2 ГПЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

3.2.1 Эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц эллипсометрических углов, в состав которой входят:

спектральный эллипсометр;

эталонные меры эллипсометрических углов и в виде эллипсометрических пластинок - кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины;

эталонные меры эллипсометрического угла в виде четверть- и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона.

3.2.2 Эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц пространственного распределения эллипсометрических углов и в декартовой системе координат , в состав которой входят:

спектральный эллипсометрический комплекс с двухкоординатной системой позиционирования эталонной меры пространственного распределения эллипсометрических углов и ;