Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов

     1. Область применения

Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов Дельта и Пси ( - разность фаз между двумя ортогональными p- и s-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, - отношение амплитуд p- и s-компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) и средств измерений пространственного распределения эллипсометрических углов и в декартовой системе координат для оптического излучения в видимой области спектра устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го разряда средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов представлена в приложении А.