ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ УГЛОВ

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 22 октября 2018 г. N 2221

     1. Область применения

Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов Дельта и Пси ( - разность фаз между двумя ортогональными p- и s-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, - отношение амплитуд p- и s-компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) и средств измерений пространственного распределения эллипсометрических углов и в декартовой системе координат для оптического излучения в видимой области спектра устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го разряда средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений эллипсометрических углов представлена в приложении А.

     2. Сокращения и обозначения

В настоящем документе использованы следующие сокращения:

ГПЭ - государственный первичный эталон;

СКО - среднее квадратическое отклонение;

НСП - неисключенная систематическая погрешность.

     3. Государственный первичный эталон

3.1 ГПЭ единиц эллипсометрических углов ГЭТ 186-2017 предназначен для воспроизведения, хранения единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси , пространственного распределения эллипсометрических углов и и передачи единиц эллипсометрических углов при помощи рабочих эталонов 1-го разряда средствам измерений.

3.2 ГПЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:

3.2.1 Эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц эллипсометрических углов, в состав которой входят:

спектральный эллипсометр;

эталонные меры эллипсометрических углов и в виде эллипсометрических пластинок - кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины;

эталонные меры эллипсометрического угла в виде четверть- и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона.

3.2.2 Эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи единиц пространственного распределения эллипсометрических углов и в декартовой системе координат , в состав которой входят:

спектральный эллипсометрический комплекс с двухкоординатной системой позиционирования эталонной меры пространственного распределения эллипсометрических углов и ;