Профессиональное решение
для специалистов строительной отрасли

ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ от 1·10  до 100 м И ДЛИН ВОЛН В ДИАПАЗОНЕ от 0,2 до 50 мкм

УТВЕРЖДЕНА приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 29 декабря 2018 г. N 2840

     1. Область применения

Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм (далее - государственная поверочная схема) устанавливает порядок передачи единицы длины от государственного первичного эталона единицы длины - метра (далее - государственный первичный эталон) средствам измерений с помощью вторичных и рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов поверки.

Допускается проводить поверку с помощью эталонов более высокой точности, чем предусмотрено настоящей государственной поверочной схемой.

Государственная поверочная схема состоит из четырех частей:

часть 1. Источники излучений и средства измерений длин волн;

часть 2. Меры длины штриховые и измерители перемещений;

часть 3. Меры длины концевые плоскопараллельные и средства измерений наружных и внутренних размеров;

часть 4. Измерители перемещений, меры рельефные и микроскопы в области нанодиапазона.

Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от 1·10  до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм представлена в приложениях А, Б, В и Г.

     2. Государственный первичный эталон

Государственный первичный эталон представляет собой комплекс, в состав которого входят следующие средства измерений:

источник эталонного излучения - лазер, стабилизированный по линии насыщенного поглощения в молекулярном йоде-127;

установка для измерений разности частот источников лазерного излучения;

универсальный интерференционный метровый компаратор;

лазерный интерференционный тридцатиметровый компаратор;

лазерный интерференционный компаратор для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне;

гетеродинный интерферометр.

Номинальное значение длины волны, при котором воспроизводится единица, составляет 0,633 мкм.

Государственный первичный эталон обеспечивает воспроизведение единицы со средним квадратическим отклонением результата измерений , не превышающим 5,6·10 при 100 независимых измерениях.

Неисключенная систематическая погрешность не превышает 2,2·10.

Стандартная неопределенность:

оцененная по типу А - = 5,6·10;

оцененная по типу В - = 1,5·10.

Суммарная стандартная неопределенность - =5,8·10.

Расширенная неопределенность - =1,16·10.

Среднее квадратическое отклонение результата измерений при передаче единицы длины лазерным интерференционным компаратором для измерений длины в субмикронном и нанодиапазоне и гетеродинным интерферометром в диапазоне (1·10-1·10) м не превышает 0,1 нм.

Среднее квадратическое отклонение результата измерений при передаче единицы длины мерам длины концевым плоскопараллельным и мерам длины штриховым с помощью универсального интерференционного метрового компаратора диапазоне (1·10-1) м не превышает 0,03 мкм.

Среднее квадратическое отклонение результата измерений при передаче единицы длины с помощью лазерного интерференционного тридцатиметрового компаратора диапазоне (1-30) м не превышает 5 мкм.

Государственный первичный эталон применяют для передачи единицы длины вторичным, рабочим эталонам и средствам измерений методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора и мер сравнения (меры длины концевые плоскопараллельные класса точности 00 по ГОСТ 9038-90 "Меры длины концевые плоскопараллельные. Технические условия", меры длины штриховые класса точности 0 по ГОСТ 12069-90 "Меры длины штриховые брусковые. Технические условия", ленты измерительные длиной 24000 мм в соответствии с МИ 1987-89 "Рекомендация. ГСИ. Меры длины штриховые. Общие требования к поверке").

Примечание: для передачи единицы длины средствам измерений - системам измерительным лазерным в диапазоне от 0 до 80000 мм может применяться также Государственный первичный специальный эталон единицы длины ГЭТ 199-2018 методом прямых измерений.

     3. Вторичные эталоны

     3.1 Вторичные эталоны 1-й части

3.1.1 В качестве вторичных эталонов применяют частотно-стабилизированные лазеры в диапазоне длин волн от 0,4 до 11 мкм.

3.1.2 Средние квадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений вторичных эталонов с государственным первичным эталоном составляет от 1·10 до 1·10.

В качестве компаратора применяются установки на основе вакуумированного интерферометра Фабри-Перо.

3.1.3 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - спектральных ламп, частотно-стабилизированных лазеров сличением с помощью компаратора, измерителей длин волн методом прямых измерений, рабочих эталонов 2-го разряда - измерителей длин волн лазеров импульсного излучения методом прямых измерений, а также средствам измерений - частотно-стабилизированным лазерам непрерывного излучения методом сличения с помощью компаратора.

     3.2 Вторичные эталоны 2 части

3.2.1 В качестве вторичных эталонов применяют меры длины штриховые и установки для поверки штриховых мер длины в диапазоне от 0,001 до 1000 мм.

3.2.2 Средние квадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений вторичных эталонов с государственным первичным эталоном составляют от (0,03+0,1·L) до (0,05+0,1·L) мкм, где L - длина, м.

3.2.3 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - мер длины штриховых, дифракционных голографических мер длины методом прямых измерений и методом сличения с помощью компаратора.

     3.3 Вторичные эталоны 3-й части

3.3.1 В качестве вторичных эталонов применяют интерференционные установки для поверки мер длины концевых плоскопараллельных в диапазонах от 0,1 до 100 мм, от 100 до 1000 мм и интерференционные установки для измерений внутренних размеров от 0,5 до 200 мм.

3.3.2 Средние квадратические отклонения суммарной погрешности результатов сличений вторичных эталонов с государственным первичным эталоном составляют от (0,02+0,1·L) до (0,05+0,1·L) мкм, где L - длина, м.

3.3.3 Вторичные эталоны применяют для поверки рабочих эталонов 1-го разряда - мер длины концевых плоскопараллельных, мер внутренних диаметров методом прямых измерений, рабочих эталонов 2-го разряда - мер длины концевых плоскопараллельных методом прямых измерений и средств измерений - мер длины концевых плоскопараллельных классов точности 00 и 01 по ГОСТ 9038-90 "Меры длины концевые плоскопараллельные. Технические условия" методом прямых измерений.

     3.4 Вторичные эталоны 4-й части

Доступ к полной версии документа ограничен
Этот документ или информация о нем доступны в системах «Техэксперт» и «Кодекс».