ГОСУДАРСТВЕННАЯ ПОВЕРОЧНАЯ СХЕМА ДЛЯ СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЙ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПОВЕРХНОСТЕЙ СЛОЖНОЙ ФОРМЫ
Настоящая Государственная поверочная схема устанавливает порядок передачи единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы от Государственного первичного специального эталона (далее по тексту - ГПСЭ) единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы (ГЭТ 192) средствам измерений при помощи рабочих эталонов с указанием погрешностей и основных методов передачи в диапазоне от 0 до 50 м.
Графическая часть Государственной поверочной схемы для средств измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы представлена в приложении А.
2.1 ГПСЭ предназначен для воспроизведения, хранения единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы и передачи единицы при помощи рабочих эталонов средствам измерений с целью обеспечения единства измерений.
2.2 В основу измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы должна быть положена единица длины, воспроизводимая указанным ГПСЭ.
2.3 ГПСЭ состоит из комплекса следующих средств измерений:
установка на базе координатно-измерительной машины в диапазоне до 1 м;
мобильная интерференционная установка на базе лазерной измерительной системы в диапазоне до 15 м;
мобильная интерференционная установка на базе лазерной измерительной системы в диапазоне до 50 м.
2.4 Диапазон значений единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы, воспроизводимой ГПСЭ, составляет от 0 до 50 м.
2.5 ГПСЭ обеспечивает воспроизведение единицы длины в области измерений геометрических параметров поверхностей сложной формы:
в диапазоне от 0 до 1 м со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим 0,25 мкм при 20 независимых наблюдениях, неисключенная систематическая погрешность не превышает (0,8+0,6·L) мкм;
в диапазоне от 0 до 15 м со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим (0,04·L) мкм при 20 независимых наблюдениях, неисключенная систематическая погрешность не превышает (0,15+0,2·L) мкм;
в диапазоне от 0 до 50 м со средним квадратическим отклонением результата измерений S, не превышающим (0,03·L) мкм при 20 независимых наблюдениях, неисключенная систематическая погрешность не превышает (0,02+0,5·L) мкм.