Наименование | Реализация технологии на основе проекционной литографии | Код | B/05.7 | Уровень (подуровень) квалификации | 7 |
Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | ||
Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта | ||||
Трудовые действия | Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе проекционной литографии |
Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для изготовления фотошаблонов | |
Руководство изготовлением комплекта фотошаблонов в соответствии с ТЗ | |
Руководство подготовкой подложек для проведения последовательности операций ТП, основанного на проекционной литографии (фотолитографии) | |
Подготовка установки проекционной литографии к проведению операций | |
Руководство реализацией последовательности операций изготовления МИС СВЧ после экспонирования подложек | |
Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка проекционной литографии | |
Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой | |
Регламентные работы по тестированию установок проекционной литографии | |
Необходимые умения | Работать с нормативной документацией |
Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ | |
Необходимые знания | Технология производства МИС СВЧ на основе проекционной литографии |
Стандарты для подготовки технологической документации | |
САПР подготовки файлов топологии для проекционной литографии | |
Другие характеристики | Ответственность за качество ТП проекционной литографии |