Наименование | Реализация технологии на основе электронной литографии | Код | B/04.7 | Уровень (подуровень) квалификации | 7 |
Происхождение трудовой функции | Оригинал | X | Заимствовано из оригинала | ||
Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта | ||||
Трудовые действия | Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе электронной литографии |
Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для проведения электронной литографии | |
Руководство подготовкой подложек для проведения операций экспонирования фоторезистов на установке электронной литографии | |
Подготовка установки электронной литографии к проведению операций прорисовки топологии | |
Руководство реализацией операций резист-процессинга после экспонирования подложек | |
Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка электронной литографии | |
Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой | |
Регламентные работы по тестированию установки электронной литографии | |
Необходимые умения | Работать с нормативной документацией |
Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ | |
Необходимые знания | Методы электронной литографии |
Технология производства МИС СВЧ на основе электронной литографии | |
Стандарты для подготовки технологической документации | |
САПР подготовки файлов топологии для электронной литографии | |
Другие характеристики | Ответственность за качество ТП, основанного на электронной литографии |