Действующий

Об утверждении профессионального стандарта "Инженер-конструктор в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем" (с изменениями на 12 декабря 2016 года)

3.1.1. Трудовая функция

Наименование

Разработка топологии тестовых структур и топологии МИС СВЧ, разработка файлов для электронной литографии и изготовления фотошаблонов

Код

A/01.6

Уровень (подуровень) квалификации

6

Происхождение трудовой функции

Оригинал X

Заимствовано из оригинала

Код оригинала

Регистрационный номер профессионального стандарта

Трудовые действия

Разработка топологии тестовых структур для характеризации параметров элементов монолитных интегральных схем (МИС)

Разработка топологии МИС СВЧ, согласование их с технологами, внесение необходимых изменений

Разработка и подготовка файлов для электронной литографии с предъявлением их для технического контроля, внесение необходимых изменений

Разработка и подготовка файлов для изготовления фотошаблонов с предъявлением их для технического контроля, внесение необходимых изменений

Необходимые умения

Применять метод декомпозиции при анализе тестовых структур и МИС СВЧ

Оценивать допуски на элементы при межоперационном контроле параметров

Переходить от схемы принципиальной электрической к топологии МИС СВЧ, используя систему автоматизации проектирования (САПР)

Планировать и оптимизировать контрольные операции в процессе прохождения пластин по технологическому маршруту

Осуществлять разработку топологии тестовых структур на пластине для проведения межоперационного контроля совместно с технологами

Выбирать методики измерения параметров тестовых структур при межоперационном контроле технологического процесса

Выбирать оборудование для межоперационного контроля

Анализировать статистическими методами результаты измерения параметров тестовых структур и делать заключение об их нахождении в пределах заданных допусков, приемлемых для достижения технических требований на МИС

Рассчитывать параметры МИС с учетом особенностей топологии

Разрабатывать техническое задание на изменение технологии

Взаимодействовать с технологическими подразделениями при передаче топологии в производство

Подготавливать файлы необходимых форматов для электронных шаблонов проекционной литографии

Работать на установке изготовления фотошаблонов

Необходимые знания

Основы технологии производства МИС СВЧ

Основы статистического анализа

Методы статистической обработки данных и теории чувствительности устройств к разбросам параметров компонент

Теория и методы планирования эксперимента

Методики межоперационного контроля

Параметры гетероструктур и материалов, применяемых в технологии МИС СВЧ

Теория допусков применительно к наноэлектронике СВЧ

Методы разработки библиотек моделей пассивных и активных элементов МИС СВЧ

Современные системы проектирования топологии СВЧ-устройств и МИС СВЧ

Топологические библиотеки моделей пассивных и активных элементов МИС СВЧ

Оборудование для измерения и контроля параметров тестовых структур и МИС СВЧ

Методология системы менеджмента качества

Основы технологии электронной литографии

Методики и нормативная документация на подготовку конструкторской документации (КД) для электронной литографии

Основы технологии изготовления фотошаблонов для проекционной литографии

Методики и нормативная документация на подготовку КД для изготовления фотошаблонов

Другие характеристики

Деятельность, направленная на создание топологий МИС СВЧ, являющихся интеллектуальным продуктом, защищаемым авторами как "Топология ИС"